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高真空電子?xùn)|及熱阻薄膜沉積系統(tǒng)--DZS500

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  北京慧龍環(huán)科環(huán)境儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱:慧龍環(huán)科)是一家專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備、耗材銷售服務(wù)商。致力于將先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)室儀器、生態(tài)環(huán)保、智慧農(nóng)業(yè)、安全防護(hù)、食品安全、材料科學(xué)等相關(guān)檢測(cè)分析儀器整合成系統(tǒng)解決方案,為廣大客戶提供先進(jìn)的檢測(cè)方式和完善的售后服務(wù)體系。
 
  慧龍環(huán)科經(jīng)全體同仁齊心協(xié)力、眾志成城的努力奮斗以及業(yè)界眾多廠商、客戶的信賴支持下,慧龍環(huán)科已在水質(zhì)檢測(cè)、氣體分析、環(huán)境輻射、實(shí)驗(yàn)室儀器、生態(tài)環(huán)保、智慧農(nóng)業(yè)、食品安全、石油化工、工業(yè)檢測(cè)、安全防護(hù)、材料科學(xué)等領(lǐng)域建立獨(dú)立、完善、便捷的服務(wù)信譽(yù)。
 
  客戶群體涉及教育科研、石油化工、環(huán)保監(jiān)測(cè)、市政工程、農(nóng)林牧副漁、新能源光伏等眾多行業(yè)。

環(huán)保監(jiān)測(cè)儀器、食品安全檢測(cè)儀、水質(zhì)分析儀、氣體檢測(cè)儀、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、石油化工檢測(cè)儀、消防安監(jiān)設(shè)備

高真空電子?xùn)|及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--DZS500

真空室結(jié)構(gòu):U形前開門

真空室尺寸:500x500x600mm

極限真空度:≤6.67E-5Pa

沉積源:4個(gè)11cc坩堝

樣品尺寸,溫度:φ4英寸,1片,最高800C

占地面積(長(zhǎng)x寬x高):約2.7米x1.7米x2.1米

電控描述:全自動(dòng)

工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤+3%

特色參數(shù):樣品可自轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)

產(chǎn)品概述:
本沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護(hù)薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。 

設(shè)備特點(diǎn):

本設(shè)備是一個(gè)鍍膜平臺(tái),可把磁控靶拆下?lián)Q電子槍成為電子束鍍膜系統(tǒng)、或換蒸發(fā)源作為熱蒸發(fā)系統(tǒng)、或換上離子槍作為離子束鍍膜系統(tǒng)等。
設(shè)備用途:
用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研項(xiàng)目




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