化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備> 高真空電子?xùn)|及熱阻薄膜沉積系統(tǒng)--DZS500
高真空電子?xùn)|及熱阻薄膜沉積系統(tǒng)--DZS500
- 公司名稱 北京慧龍環(huán)科環(huán)境儀器有限公司
- 品牌 沈陽(yáng)科儀
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/5/21 11:40:37
- 訪問(wèn)次數(shù) 69
聯(lián)系方式:慧龍環(huán)科18911758155,18910319870 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
環(huán)保監(jiān)測(cè)儀器、食品安全檢測(cè)儀、水質(zhì)分析儀、氣體檢測(cè)儀、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、石油化工檢測(cè)儀、消防安監(jiān)設(shè)備
高真空電子?xùn)|及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--DZS500
真空室結(jié)構(gòu):U形前開門
真空室尺寸:500x500x600mm
極限真空度:≤6.67E-5Pa
沉積源:4個(gè)11cc坩堝
樣品尺寸,溫度:φ4英寸,1片,最高800C
占地面積(長(zhǎng)x寬x高):約2.7米x1.7米x2.1米
電控描述:全自動(dòng)
工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤+3%
特色參數(shù):樣品可自轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)
產(chǎn)品概述:
本沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護(hù)薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。
設(shè)備特點(diǎn):
本設(shè)備是一個(gè)鍍膜平臺(tái),可把磁控靶拆下?lián)Q電子槍成為電子束鍍膜系統(tǒng)、或換蒸發(fā)源作為熱蒸發(fā)系統(tǒng)、或換上離子槍作為離子束鍍膜系統(tǒng)等。
設(shè)備用途:
用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研項(xiàng)目