MKS 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 PLASMART Path Finder 100MHz 5000W RF Match 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器。MKS Path Finder 系列射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器具有響應(yīng)速度快，匹配精度高的優(yōu)點，廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程工藝中。該型射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻信號的精準(zhǔn)控制，對射頻反射功率進(jìn)行高精度的偵測，并通過控制步進(jìn)電機的轉(zhuǎn)動來調(diào)節(jié)設(shè)備內(nèi)部阻抗值，從而降低功率反射，實現(xiàn)快速匹配。

MKS 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 PLASMART Path Finder 參數(shù)規(guī)格 

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號：PLASMART(MKS) Path Finder

DC 電源輸入：24Vdc，2A

RF 射頻輸入：100MHz

輸出功率：5000W

通訊接口：A/D I/O，USER Connector

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱