DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 FMM-200A1 RF Match 能夠?qū)Φ入x子工藝經(jīng)行高性能，高可靠性和精確控制。設(shè)備內(nèi)部采用了高度優(yōu)化的設(shè)計(jì)布局，可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)良工序間的可重復(fù)性工作。DAIHEN FMM系列射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器匹配效率高，響應(yīng)速度快，能夠?qū)Ψ瓷涔β蔬M(jìn)行快速偵測(cè)，實(shí)施精準(zhǔn)控制，高效地降低功率反射，減少射頻損耗，提升能源效益，降低客戶的使用成本。設(shè)備提供40.68MHz和400KHz兩個(gè)不同的匹配頻率組合，具有優(yōu)秀的兼容性。

DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 FMM-200A1 RF Match 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號(hào)：FMM-200A1

DC 電源輸入：24V，7A

RF 輸入頻率：40.68MHz / 400KHz

輸出功率：6500W / 20000W

通訊接口：DeviceNet，Debug

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱

設(shè)備重量：37kg