液相擴(kuò)散技術(shù)（LDT）提供了各種 基材和表面材料的干燥性能性能增強(qiáng)。這種專(zhuān)有的干燥工藝及其它的系統(tǒng)控制生成超純IPA氣霧劑層，在靜止的基板移動(dòng)擴(kuò)散去除水分，不留水印。Megasonic IPA dryer具有強(qiáng)大的工藝靈活性，可用于干燥高縱橫比/深溝槽地形、半間距晶片間距，以及其他多種應(yīng)用。

兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)，而且克服了它的不足。兆聲波清洗的機(jī)理是由高頻振效應(yīng)并結(jié)合化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對(duì)硅片進(jìn)行清洗的。在清洗時(shí)，由換能器發(fā)出波長(zhǎng)為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng)，大瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。

Megasonic IPA Dryer 

清洗效果：