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KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統(tǒng)為金屬或玻璃數(shù)據(jù)存儲基板和成品介質(zhì)提供了先進的量測和檢測功能。隨著數(shù)據(jù)存儲制造商努力通過進一步...

KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)先進的集成式表面和光致發(fā)光(PL)缺陷檢測系統(tǒng)可以捕獲各種關鍵襯底和外延缺陷。采用統(tǒng)計制程控制(SP...

KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統(tǒng)第二代集成式光致發(fā)光和表面檢測系統(tǒng)，設計用于對碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進行高級表征。采用統(tǒng)計制...

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)它使用多通道檢測和基于規(guī)則的缺陷分類，對不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、...

KLA Zeta™-388光學輪廓儀提供3D量測和成像功能，與集成防震臺和晶圓操作系統(tǒng)結合，可實現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術...

KLA Zeta™-300光學輪廓儀可提供3D 量測和成像功能，與集成式防震臺和靈活的配置相結合，可以處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot&trade...

全新的KLA Zeta™-Solar光學輪廓儀專為滿足優(yōu)良金屬化工藝中對于細柵線、接觸墊和主柵線的測量需求而設計。更為優(yōu)良的3D 成像技術，以及最大...

KLA Zeta™-20光學輪廓儀是一個高度集成的光學輪廓顯微鏡，可在緊湊、耐用的包裝下提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技...

KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學輪廓儀和 Profilm3D-200 光學輪廓儀經(jīng)濟實惠，是一套非接觸式基于白光干...

KLA HRP®-260 探針式輪廓儀是一個高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙...

KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動化輪廓儀，可為生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、...