掃描電子顯微鏡通過高能電子束掃描樣品表面，生成納米級分辨率圖像，并搭載EDS（能譜儀）實(shí)現(xiàn)元素分析，是化工材料微觀表征的頂級工具。

技術(shù)原理

• 電子光學(xué)系統(tǒng)：場發(fā)射電子槍（冷場或熱場）提供高亮度電子束。

• 信號檢測：二次電子（SE）與背散射電子（BSE）成像，揭示樣品形貌與成分差異。

• 聯(lián)用技術(shù)：EDS探測器（如牛津儀器X-MaxN）可同步進(jìn)行元素面分布分析。

化工領(lǐng)域應(yīng)用

• 催化劑研究：觀察活性金屬顆粒的分散度與載體結(jié)構(gòu)。

• 高分子材料：分析共混材料的相界面結(jié)合狀態(tài)。

• 涂層檢測：評估防腐涂層厚度與孔隙率。

核心優(yōu)勢

• 超高分辨率：SU9000型號分辨率達(dá)0.4nm（30kV）。

• 低電壓觀測：1kV以下低加速電壓減少對非導(dǎo)電樣品的損傷。

• 自動(dòng)化功能：自動(dòng)對中、圖像拼接、3D表面重構(gòu)。

選型要點(diǎn)

• 電子槍類型：冷場發(fā)射（高分辨率）或熱場發(fā)射（穩(wěn)定性優(yōu)先）。

• 樣品室尺寸：適配塊狀、粉末或薄膜樣品（最大可至200mm晶圓）。

• 擴(kuò)展功能：可選配EBSD（電子背散射衍射）用于晶體結(jié)構(gòu)分析。

維護(hù)與校準(zhǔn)

• 每日開機(jī)前執(zhí)行電子槍預(yù)熱與束流穩(wěn)定程序。

• 每月清潔樣品室，避免粉塵污染探測器。

• 每年由廠商進(jìn)行光軸校準(zhǔn)與真空系統(tǒng)維護(hù)。