光刻膠烘箱的典型結(jié)構(gòu)

來源：愛義信工業(yè)科技（上海）有限責(zé)任公司 2025年05月26日 14:42

2. 送風(fēng)系統(tǒng)
層流設(shè)計(jì)：垂直單向流（Downflow）確保潔凈度，風(fēng)速0.3~0.5 m/s。
風(fēng)量調(diào)節(jié)：變頻風(fēng)機(jī)按工藝階段調(diào)整風(fēng)量（如升溫階段高風(fēng)量，保溫階段低風(fēng)量）。
3. 腔體與載具
材質(zhì)：不銹鋼316L或鋁合金（表面陽極氧化），耐化學(xué)腐蝕。
載具類型：

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