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KT-Z4019MRL4T 國(guó)產(chǎn)手動(dòng)高溫真空探針臺(tái) 晶圓檢測(cè) 氣敏測(cè)試
高溫真空腔的腔體通常采用特殊的材料制成，這些材料需要具備良好的耐高溫性能、氣密性以及機(jī)械強(qiáng)度。例如，不銹鋼是常用的腔體材料之一，它能夠在較高溫度下保持穩(wěn)定的物理和化學(xué)性質(zhì)，不易變形和氧化。同時(shí)，為了確保腔體的密封性，會(huì)采用特殊的密封結(jié)構(gòu)和材料，如橡膠密封圈或金屬密封環(huán)等，以防止氣體泄漏，維持腔體內(nèi)的真空環(huán)境。
1.加熱系統(tǒng)
要實(shí)現(xiàn)高溫環(huán)境，高溫真空腔配備了專門(mén)的加熱系統(tǒng)。常見(jiàn)的加熱方式有電阻加熱、感應(yīng)加熱等。電阻加熱是通過(guò)電流流經(jīng)具有電阻的加熱元件產(chǎn)生熱量，從而對(duì)腔體進(jìn)行加熱。這種加熱方式簡(jiǎn)單易行，成本相對(duì)較低，能夠?qū)崿F(xiàn)較為均勻的加熱效果。感應(yīng)加熱則是利用電磁感應(yīng)原理，在加熱線圈中通入交變電流，產(chǎn)生交變磁場(chǎng)，使腔體中的金屬部件產(chǎn)生渦流而發(fā)熱。感應(yīng)加熱具有加熱速度快、效率高、溫度控制準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)，但設(shè)備成本相對(duì)較高。
2.真空獲得與維持系統(tǒng)
為了在腔體內(nèi)創(chuàng)造并維持高真空環(huán)境，需要一套完善的真空獲得與維持系統(tǒng)。通過(guò)真空泵將腔體內(nèi)的氣體抽出，使其達(dá)到一定的真空度。常用的真空泵包括機(jī)械泵、分子泵等。機(jī)械泵能夠快速地將大量氣體抽出，但極限真空度相對(duì)較低；分子泵則在高真空范圍內(nèi)具有較高的抽氣速率和極限真空度。在獲得初步真空后，還需要采取一系列措施來(lái)維持真空度。例如，采用吸附劑吸附腔體內(nèi)殘留的少量氣體，或者對(duì)腔體進(jìn)行高溫烘烤，促使材料表面和內(nèi)部吸附的氣體盡快放出，然后通過(guò)真空泵將其抽走。
3.溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)
準(zhǔn)確的溫度測(cè)量和控制對(duì)于高溫真空腔的運(yùn)行至關(guān)重要。通常會(huì)在腔體內(nèi)部安裝多個(gè)溫度傳感器，如熱電偶等，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)腔體不同位置的溫度變化。這些溫度信號(hào)會(huì)被傳輸?shù)綔囟瓤刂葡到y(tǒng)中，通過(guò)與設(shè)定溫度進(jìn)行比較，自動(dòng)控制加熱系統(tǒng)的功率，以實(shí)現(xiàn)對(duì)腔體溫度的準(zhǔn)確調(diào)節(jié)和穩(wěn)定控制。溫度控制系統(tǒng)還可以設(shè)置各種保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過(guò)設(shè)定的安全范圍時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源，防止設(shè)備損壞和安全事故的發(fā)生。
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