iPHEMOS-DD倒置微光顯微鏡是一款半導(dǎo)體失效分析系統(tǒng)，通過(guò)檢測(cè)半導(dǎo)體裝置缺陷引起的微弱的光發(fā)射和熱發(fā)射來(lái)準(zhǔn)確定位半導(dǎo)體器件的失效位置。利用其的倒置型設(shè)計(jì)，能夠便捷地進(jìn)行樣品backside觀察與分析，將樣品直接連接到測(cè)試機(jī)上，再把測(cè)試機(jī)架裝到設(shè)備上方能夠有效減少線纜長(zhǎng)度，這使得高頻驅(qū)動(dòng)樣品的分析成為可能，這種直接架裝方式可用于點(diǎn)針偵測(cè)12英寸wafer，也可用來(lái)偵測(cè)封裝好的樣品。  

詳細(xì)參數(shù):

產(chǎn)品結(jié)構(gòu):

● 同時(shí)加裝兩臺(tái)高靈敏度相機(jī)，能夠同時(shí)完成光發(fā)射和熱發(fā)射偵測(cè)

● 設(shè)備可以加載多種激光

● 鏡頭切換轉(zhuǎn)塔可以加裝10種不同鏡頭

產(chǎn)品配置（可選配）:

● 激光掃描系統(tǒng) 

● 高靈敏度近紅外相機(jī)進(jìn)行光發(fā)射分析 

（根據(jù)客戶樣品特點(diǎn)對(duì)不同波長(zhǎng)范圍的光發(fā)射探測(cè)可以選配不同型號(hào)相機(jī)，InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X）

● 高靈敏度中紅外Thermal相機(jī)進(jìn)行熱分析 

● 激光誘導(dǎo)阻值變化分析（OBIRCH）

● D-lock in

● Thermal Lock in

● EOP/EOFM

● Tilt Stage

● Nano Lens 進(jìn)行高分辨率、高靈敏度分析 

● Navigation功能

● 連接測(cè)試機(jī)進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析

● Laser Marker

連接示例: