?Gazer-Aligner校準(zhǔn)器?是一種應(yīng)用于晶圓加工中的晶圓預(yù)對準(zhǔn)裝置，主要用于通過利用晶圓上的缺口（notch）將晶圓調(diào)整至預(yù)設(shè)位置，以確保晶圓的位置及方向，方便后續(xù)工藝的進(jìn)行?1。Gazer-Aligner校準(zhǔn)器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中的各個階段，可以集成至各類半導(dǎo)體設(shè)備中使用?1。

技術(shù)規(guī)格和性能參數(shù)

Gazer的?GS-EA系列?晶圓校準(zhǔn)器是專為晶圓加工設(shè)計的高精度預(yù)對準(zhǔn)裝置。該系列校準(zhǔn)器采用的微型機(jī)器人模組，并結(jié)合自主研發(fā)的高精算法，實現(xiàn)了晶圓高速與的校準(zhǔn)。經(jīng)過技術(shù)團(tuán)隊對硬件和算法的持續(xù)優(yōu)化，GS-EA系列晶圓校準(zhǔn)器的校準(zhǔn)精度已達(dá)到晶圓中心±0.05毫米，晶圓缺邊或缺口±0.05度，校準(zhǔn)過程僅需5秒（不包括晶圓的取放時間），性能在業(yè)界處于水平?2。

精度檢驗方法

Aligner校準(zhǔn)器的定位精度檢驗通常采用視覺方案實現(xiàn)。高分辨率相機(jī)拍照計算校準(zhǔn)后的晶圓坐標(biāo)，重復(fù)校準(zhǔn)不同尺寸的晶圓，以此來確認(rèn)校準(zhǔn)儀的穩(wěn)定性和重復(fù)定位精度。測試用到的相機(jī)需要達(dá)到5000萬像素高分辨率，計算精度達(dá)到0.001mm。通過這種方式檢驗，Gazer的GS-EA系列Aligner校準(zhǔn)器的校準(zhǔn)精度能夠達(dá)到±0.02mm和±0.02°，與國際頭部廠商相媲美?