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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkine3300M-R
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkine3300M-R
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環(huán)境。
用
半導體制造設備
FPD 制造設備
太陽能
電池制造設備
玻璃和鏡頭等光學元件的加工
薄膜加工
加速器/空間環(huán)境試驗設備
省電設計
設定參數(shù)、運行數(shù)據(jù)、異常歷史等可以存儲在泵體內。
* 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。
各種通信規(guī)格 EtherCAT 兼容
國際標準 CE/NRTL/SEMI-S2
渦輪分子泵的典型應用領域
（一）半導體制造
晶圓加工設備（刻蝕、離子注入等）
光刻機真空系統(tǒng)
半導體鍍膜設備
（二）科學研究
高能物理實驗裝置
表面分析儀器（XPS、AES等）
空間環(huán)境模擬設備
（三）分析儀器
質譜儀
電子顯微鏡
同步輻射裝置
（四）特種工藝
分子束外延（MBE）
納米材料制備
精密光學鍍膜
（五）新興領域
量子計算研究
核聚變實驗裝置
先進材料研發(fā)
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環(huán)境試驗 ...
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