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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> Osaka大阪真空 渦輪分子泵 TS50
所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時間：2025/6/19 16:33:59
訪問次數(shù)：2
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TS50
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TS50
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
| 進(jìn)氣法蘭 | VG100 CF100 ISO-R100 系列 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 25 |
| N2 （帶保護(hù)網(wǎng)） （升/秒） | 23 | |
| H2 （升/秒） | 13 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 2×106 |
| H2 | 50 | |
| 最大氣體流速※1、※2 | N2 （SCCM） | 600 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 2.5~3.5°C |
| 停機(jī)時間 | （分鐘） | 2.5~5 |
| 極限壓力※3 | （賓夕法尼亞州） | < 1×10-4 |
| “（托爾，Torr） | < 7.5×10-7 | |
| 允許的輔助壓力 | （賓夕法尼亞州） | 1200 |
| “（托爾，Torr） | 9 | |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧80 |
| 安裝姿勢 | 直立 （±10°） | |
| 質(zhì)量 | （公斤） | 11 |
全級螺旋槽（螺紋槽）結(jié)構(gòu)
能夠在中低真空范圍內(nèi)排出大量氣體
能夠承受超過 300,000 次大氣侵入
安全標(biāo)準(zhǔn)：NRTL/SEMI-S2
渦輪分子泵的核心優(yōu)勢
真空性能
可獲得10??mbar以上的超高真空
抽速曲線平坦，工作范圍寬
對輕質(zhì)氣體（如氫氣）抽速高
清潔無污染
無油，不會產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴?/p>
適合潔凈敏感工藝
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
高效節(jié)能
比擴(kuò)散泵節(jié)能50%以上
快速啟動，縮短工藝周期
功率因數(shù)高
穩(wěn)定可靠
平均時間超過30000小時
抗突發(fā)大氣沖擊能力強(qiáng)
振動噪聲小
智能控制
變頻調(diào)速功能
實(shí)時狀態(tài)監(jiān)測
故障自診斷系統(tǒng)
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