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供應(yīng)簡介

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種無需任何工作液（油或水）參與抽氣過程的機械真空泵，代表了當今真空技術(shù)發(fā)展的前沿方向。這類泵通過在泵腔內(nèi)直接機械運動來實現(xiàn)氣體的壓縮和排出，避免了工作介質(zhì)對真空環(huán)境的污染。

詳細介紹

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種無需任何工作液（油或水）參與抽氣過程的機械真空泵，代表了當今真空技術(shù)發(fā)展的前沿方向。這類泵通過在泵腔內(nèi)直接機械運動來實現(xiàn)氣體的壓縮和排出，避免了工作介質(zhì)對真空環(huán)境的污染。干式真空泵技術(shù)起源于20世紀80年代，隨著半導(dǎo)體、光伏等精密制造業(yè)對清潔真空環(huán)境需求的增長而迅速發(fā)展成熟。

干式真空泵主要分為五大類型：

爪式干泵（Claw Pump）：通過兩個非接觸的爪形轉(zhuǎn)子反向旋轉(zhuǎn)實現(xiàn)氣體輸送

螺桿式干泵（Screw Pump）：利用一對精密嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子進行氣體壓縮

渦旋式干泵（Scroll Pump）：采用固定和運動渦旋盤間的容積變化抽氣

多級羅茨式（Multistage Roots）：多級羅茨轉(zhuǎn)子串聯(lián)實現(xiàn)逐級壓縮

隔膜式（Diaphragm Pump）：通過彈性膜片往復(fù)運動產(chǎn)生抽氣作用

進氣法蘭			50A JIS10KFF
標稱抽速 50/60Hz		m3/小時	90
標稱抽速 50/60Hz		升/分鐘	1500
可連續(xù)運行，可產(chǎn)生進氣壓力		千帕斯卡	≦7
測試極限壓力		帕	0.7
允許排氣口壓力		千帕斯卡	≦120
排氣極限，最高可達可連續(xù)運行的入口壓力（近似值）※1		時間（min）	≦30
排氣極限，最高可達可連續(xù)運行的入口壓力（近似值）※1		體積（m3)	≦15
轉(zhuǎn)速 50/60Hz		r/min	410
標準電機輸出		千瓦	2.2
油量		L	5
冷卻水量		m3/小時	風冷
質(zhì)量	全封閉室外通風風扇室內(nèi)電機	公斤	185
質(zhì)量	無電機	公斤	165

可以在低真空范圍內(nèi)連續(xù)運行。

■ 可承受惡劣的抽空循環(huán)

堅固的排氣閥

■ 可檢查油循環(huán)狀態(tài)的視鏡

■ 允許您檢查油位的油位計

■ 環(huán)保型油分離器

■ 排氣閥室，便于檢查和維護

■ 大清潔口，便于清潔油箱

■ 排油閥，方便廢油處理

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