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合肥重光電子科技有限公司
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MSC系列-桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機
  • MSC系列-桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機
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貨物所在地:安徽合肥市

更新時間:2025-03-28 21:57:39

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設備簡介:
桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機,用于對均勻性要求較高的表面涂布工藝,將光刻膠溶液手動涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰等基片上形成薄膜,主要應用于12寸以內(nèi)樣品。

產(chǎn)品特點:

桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機外觀鏡面不銹鋼,腔體PTFE材質(zhì),核心部件進口品牌,板件和機加用料扎實,使整機環(huán)保、穩(wěn)定、皮實、耐用和更有高級感。

均勻性高:可達1%以內(nèi),減少因設備性能不足導致實驗數(shù)據(jù)偏差過大,從而影響整個工藝;

安全性高:電氣獨立集成機身側(cè)面,避免因腔體漏液到設備內(nèi)部導致短路風險,真空負壓數(shù)值顯示和低真空報警,避免因負壓不足帶來飛片風險;

性價比高:真材實料,核心部件均為進口,用心做好每一款產(chǎn)品;

產(chǎn)品參數(shù):

桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機

供電電壓

AC220V,50Hz

操作方式

7寸觸摸屏

轉(zhuǎn)速

20~10000rpm

滴膠方式

手動滴膠

加速度

350~10000rpm/s

編程

可編程50組20步

減速度

350~10000rpm/s

均勻性

1%

轉(zhuǎn)速分辨率

1rpm

抽氣接口

φ6mm快擰接口

單步時間

3000s

整機尺寸

500mm×500mm×320mm

基片尺寸

直徑≤8英寸(200mm)

整機重量

40kg

腔體材質(zhì)

PTFE

核心部件品牌

松下、西門子、威綸通、三洋、SMC、明緯等

排氣系統(tǒng)

真空泵

干式機械泵


抽氣速率

50L/min


供電電源

AC220V 50/60Hz




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