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TG1300MOsaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
參考價: 7200
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • TG1300M 產(chǎn)品型號
  • OSAKA大阪真空 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):58更新時間:2025-03-29 14:43:16

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產(chǎn)品簡介
應用領域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設計,運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品介紹

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

省電設計,運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數(shù)據(jù)。

各種通信規(guī)格:并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

國際標準:NRTL/SEMI-S2/CE


Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵


?半導體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

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進氣法蘭VG200
CF200
ISO-B200 型
抽速N2 (升/秒)1300
N2(帶保護網(wǎng)) (升/秒)1230
H2 (升/秒)1200
最大壓縮比N21×108 
H21,5×10%4 
極限壓力VG/ISO-B/CF (帕)<1×10-6 / <1×10-7 
VG?ISO-B/CF (托)<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大氣體流速※1N2 (SCCM)3000
啟動時間(分鐘)4~5
停機時間(分鐘)4~5
允許的輔助壓力(Pa / Torr)500 / 3.8 
推薦的輔助泵(升/分鐘)≧250
安裝姿勢自由
重量 (kg) VG/ISO-B/CF34 / 42 
控制器類型TC010MA
特殊規(guī)格

-化學型
- 對應反應產(chǎn)物 TG-MI
- 超低振動規(guī)格 TG-ML
- 超高真空型 TG-MU
- 耐輻射型 TG-MR




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