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MC-7100CLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià): | ￥ 25000 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MC-7100C 產(chǎn)品型號(hào)
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：63更新時(shí)間：2025-03-27 15:31:43
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對(duì)流量進(jìn)行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準(zhǔn)地對(duì)流體進(jìn)行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。
當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào)，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時(shí)。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的，Ru、Rd與 R 保持一定的溫度，當(dāng)氣體流入時(shí)。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會(huì)產(chǎn)生電力對(duì)Ru及Rd進(jìn)行加溫。利用產(chǎn)生的電力和氣體流量的比例做比對(duì)、計(jì)算出流體的正確流量。加熱的電壓值是利用補(bǔ)償環(huán)境溫度后，補(bǔ)足與質(zhì)流傳感器之溫差所得，故質(zhì)流傳感器的電壓值不受周圍溫度影響。
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