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EV-X200NEBARA荏原 EV-X干式真空泵
| 參考價: | ￥ 10000 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- EV-X200N 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：88更新時間：2025-03-21 15:06:33
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電氣,綜合 |
作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設計，并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能。
產(chǎn)品介紹
EBARA荏原 EV-X干式真空泵
作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設計，并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能。
EBARA荏原 EV-X干式真空泵
通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間，并且能夠靈活應對未來的工藝擴展。
●以大幅的溫度控制實現(xiàn)大范圍的工藝覆蓋；
●低能耗、占地小；
●可耐受腐蝕性氣體（采用標準耐腐蝕材料）；
●適用案例：各種蝕刻以及CVD、灰化、離子注入、外延生長等
核心技術特性
無油設計：采用多級壓縮或爪式/螺桿式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，通過精密機械密封實現(xiàn)無油運行，避免油蒸氣污染，適合潔凈環(huán)境（如半導體、生物實驗室）。
耐腐蝕材料：核心部件使用不銹鋼、陶瓷涂層或特殊合金，可耐受腐蝕性氣體（如酸性、堿性介質(zhì)）。
高效節(jié)能：優(yōu)化轉(zhuǎn)子動力學設計，能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%，支持變頻調(diào)速（20%~100%流量調(diào)節(jié)）。
低維護成本：無需定期更換油液，維護周期長達8,000~12,000小時，顯著減少停機時間。
用戶體驗與核心優(yōu)勢
潔凈無污染：消除油蒸氣反流問題，保護工藝介質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。
低噪音運行：噪聲水平＜65 dB(A)，適合實驗室及潔凈車間環(huán)境。
智能監(jiān)控：集成壓力傳感器與物聯(lián)網(wǎng)模塊，實時監(jiān)測真空度、溫度、振動，支持遠程報警與故障診斷。
模塊化設計：支持多泵并聯(lián)或與分子泵、羅茨泵組成復合真空系統(tǒng)，覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。
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