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EV-X100NEBARA荏原 EV-X干式真空泵
| 參考價(jià): | ￥ 10000 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- EV-X100N 產(chǎn)品型號(hào)
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：94更新時(shí)間：2025-03-21 15:06:04
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電氣,綜合 |
作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能。
產(chǎn)品介紹
EBARA荏原 EV-X干式真空泵
作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能。
EBARA荏原 EV-X干式真空泵
通過大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫(kù)存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間，并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來的工藝擴(kuò)展。
●以大幅的溫度控制實(shí)現(xiàn)大范圍的工藝覆蓋；
●低能耗、占地小；
●可耐受腐蝕性氣體（采用標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕材料）；
●適用案例：各種蝕刻以及CVD、灰化、離子注入、外延生長(zhǎng)等
核心技術(shù)特性
無油設(shè)計(jì)：采用多級(jí)壓縮或爪式/螺桿式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，通過精密機(jī)械密封實(shí)現(xiàn)無油運(yùn)行，避免油蒸氣污染，適合潔凈環(huán)境（如半導(dǎo)體、生物實(shí)驗(yàn)室）。
耐腐蝕材料：核心部件使用不銹鋼、陶瓷涂層或特殊合金，可耐受腐蝕性氣體（如酸性、堿性介質(zhì)）。
高效節(jié)能：優(yōu)化轉(zhuǎn)子動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)，能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%，支持變頻調(diào)速（20%~100%流量調(diào)節(jié)）。
低維護(hù)成本：無需定期更換油液，維護(hù)周期長(zhǎng)達(dá)8,000~12,000小時(shí)，顯著減少停機(jī)時(shí)間。
用戶體驗(yàn)與核心優(yōu)勢(shì)
潔凈無污染：消除油蒸氣反流問題，保護(hù)工藝介質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。
低噪音運(yùn)行：噪聲水平＜65 dB(A)，適合實(shí)驗(yàn)室及潔凈車間環(huán)境。
智能監(jiān)控：集成壓力傳感器與物聯(lián)網(wǎng)模塊，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度、溫度、振動(dòng)，支持遠(yuǎn)程報(bào)警與故障診斷。
模塊化設(shè)計(jì)：支持多泵并聯(lián)或與分子泵、羅茨泵組成復(fù)合真空系統(tǒng)，覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。
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