做設(shè)備檢驗(yàn)校準(zhǔn)計(jì)量器具年審?fù)庑５臋C(jī)構(gòu)

干涉儀校準(zhǔn)規(guī)程

一、目的

確保干涉儀測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，使其滿足使用要求并符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。

二、適用范圍

適用于[具體型號(hào)或類型]干涉儀的校準(zhǔn) 。

三、校準(zhǔn)依據(jù)

[列出所遵循的國(guó)家、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或儀器制造商提供的校準(zhǔn)指南等]

四、校準(zhǔn)環(huán)境條件

1. 溫度：20℃±2℃，在校準(zhǔn)過(guò)程中溫度變化每小時(shí)不超過(guò)1℃。溫度波動(dòng)會(huì)影響光學(xué)元件的尺寸和激光波長(zhǎng)，進(jìn)而導(dǎo)致測(cè)量誤差?？衫每照{(diào)、恒溫箱等設(shè)備維持穩(wěn)定溫度，并在測(cè)量區(qū)域放置多個(gè)溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

2. 濕度：40% - 60%RH，濕度變化每小時(shí)不超過(guò)5%RH。高濕度易使光學(xué)元件表面產(chǎn)生水汽凝結(jié)或腐蝕，影響光學(xué)性能?？赏ㄟ^(guò)除濕機(jī)、加濕器和濕度傳感器來(lái)調(diào)節(jié)和監(jiān)控。

3. 振動(dòng)：振動(dòng)幅值小于[X]μm，頻率小于[X]Hz 。外界振動(dòng)會(huì)使干涉條紋不穩(wěn)定，影響測(cè)量精度。將干涉儀放置在隔振平臺(tái)上，并遠(yuǎn)離振動(dòng)源，如大型機(jī)械設(shè)備、電梯等。

4. 潔凈度：工作環(huán)境應(yīng)保持清潔，避免灰塵、顆粒等污染物進(jìn)入干涉儀內(nèi)部污染光學(xué)元件。可在環(huán)境中安裝空氣凈化設(shè)備，并定期清潔工作區(qū)域。

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五、校準(zhǔn)設(shè)備及工具

1. 標(biāo)準(zhǔn)件：具有高精度和可溯源性的標(biāo)準(zhǔn)量塊、標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡、標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡等，其精度等級(jí)應(yīng)高于被校準(zhǔn)干涉儀的精度要求。例如，校準(zhǔn)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，使用的標(biāo)準(zhǔn)量塊精度等級(jí)要達(dá)到納米級(jí)。

2. 輔助工具：無(wú)塵擦拭布、無(wú)水乙醇、鏡頭紙用于清潔光學(xué)元件；精密調(diào)整架用于固定和調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)件與干涉儀的相對(duì)位置；光功率計(jì)用于檢測(cè)激光光源的光功率 。

六、校準(zhǔn)人員要求

校準(zhǔn)人員需經(jīng)過(guò)專業(yè)培訓(xùn)，熟悉干涉儀的工作原理、操作方法和校準(zhǔn)流程，具備相關(guān)的計(jì)量知識(shí)和技能，并持有相應(yīng)的計(jì)量校準(zhǔn)資質(zhì)證書(shū)。

七、校準(zhǔn)項(xiàng)目及方法

（一）外觀及功能檢查

1. 外觀檢查：目力觀察干涉儀外殼應(yīng)無(wú)破損、變形、劃痕、銹蝕等缺陷；顯示屏顯示清晰，無(wú)缺劃、亮點(diǎn)等問(wèn)題；操作按鍵功能正常，無(wú)卡滯、失靈現(xiàn)象；各接口連接正常，無(wú)松動(dòng)、損壞。

2. 功能檢查：接通電源，開(kāi)啟干涉儀，檢查儀器自檢功能是否正常；按照儀器操作手冊(cè)，依次測(cè)試干涉儀的測(cè)量模式切換、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、數(shù)據(jù)傳輸、參數(shù)設(shè)置等功能，確認(rèn)各功能均能正常實(shí)現(xiàn) 。

（二）激光波長(zhǎng)校準(zhǔn)

1. 參考標(biāo)準(zhǔn)選擇：選用經(jīng)過(guò)計(jì)量校準(zhǔn)且具有溯源性的波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)器，其波長(zhǎng)不確定度應(yīng)滿足校準(zhǔn)要求。

2. 校準(zhǔn)步驟：將波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)器與干涉儀的激光輸出端口進(jìn)行適配連接；啟動(dòng)干涉儀和波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)器，待設(shè)備穩(wěn)定后，在干涉儀上設(shè)置波長(zhǎng)測(cè)量功能；記錄干涉儀測(cè)量得到的激光波長(zhǎng)值，并與波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)器的標(biāo)稱值進(jìn)行對(duì)比；若測(cè)量值與標(biāo)稱值的偏差超出允許范圍，按照干涉儀的操作手冊(cè)，通過(guò)調(diào)整激光光源的相關(guān)參數(shù)（如電流、溫度等）對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行校準(zhǔn)，使測(cè)量值與標(biāo)稱值的偏差在允許范圍內(nèi) 。

（三）測(cè)量長(zhǎng)度示值誤差校準(zhǔn)

1. 標(biāo)準(zhǔn)量塊準(zhǔn)備：選取一組不同長(zhǎng)度規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量塊，量塊的長(zhǎng)度范圍應(yīng)覆蓋干涉儀的常用測(cè)量范圍，且量塊的精度等級(jí)滿足校準(zhǔn)要求。例如，對(duì)于測(cè)量范圍為0 - 100mm的干涉儀，可選擇長(zhǎng)度為10mm、25mm、50mm、75mm、100mm的標(biāo)準(zhǔn)量塊。

2. 校準(zhǔn)步驟：將干涉儀的測(cè)量頭與標(biāo)準(zhǔn)量塊的一端接觸，確保接觸良好且測(cè)量方向正確；在干涉儀上設(shè)置測(cè)量長(zhǎng)度功能，并進(jìn)行測(cè)量；記錄干涉儀測(cè)量得到的長(zhǎng)度值，并與標(biāo)準(zhǔn)量塊的標(biāo)稱長(zhǎng)度值進(jìn)行對(duì)比；計(jì)算測(cè)量示值誤差，公式為：示值誤差 = 測(cè)量值 - 標(biāo)稱值；按照上述步驟，依次對(duì)不同長(zhǎng)度的標(biāo)準(zhǔn)量塊進(jìn)行測(cè)量和計(jì)算示值誤差；繪制示值誤差與測(cè)量長(zhǎng)度的關(guān)系曲線，分析示值誤差是否在允許范圍內(nèi) 。若超出允許范圍，可通過(guò)軟件修正或調(diào)整干涉儀的光路系統(tǒng)、測(cè)量算法等進(jìn)行校準(zhǔn)。

（四）測(cè)量重復(fù)性校準(zhǔn)

1. 選擇測(cè)量點(diǎn)：在干涉儀的測(cè)量范圍內(nèi)，選擇一個(gè)具有代表性的測(cè)量點(diǎn)，例如對(duì)于測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，可選擇50mm的位置作為測(cè)量點(diǎn)。

2. 校準(zhǔn)步驟：在選定的測(cè)量點(diǎn)上，使用干涉儀進(jìn)行連續(xù)n次（一般n≥10）測(cè)量，每次測(cè)量后記錄測(cè)量值；計(jì)算測(cè)量重復(fù)性，公式為：測(cè)量重復(fù)性 = （單次測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)偏差/測(cè)量平均值）×100% ，其中單次測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)偏差按照貝塞爾公式計(jì)算；將計(jì)算得到的測(cè)量重復(fù)性與儀器的技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行對(duì)比，判斷測(cè)量重復(fù)性是否符合要求。若不符合要求，檢查干涉儀的穩(wěn)定性、測(cè)量環(huán)境是否存在干擾等因素，并進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整和校準(zhǔn) 。

（五）角度測(cè)量示值誤差校準(zhǔn)（適用于具有角度測(cè)量功能的干涉儀）

1. 標(biāo)準(zhǔn)角度塊準(zhǔn)備：選用一組不同角度規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)角度塊，角度塊的角度范圍應(yīng)覆蓋干涉儀的角度測(cè)量范圍，且角度塊的精度等級(jí)滿足校準(zhǔn)要求。

2. 校準(zhǔn)步驟：將標(biāo)準(zhǔn)角度塊放置在干涉儀的角度測(cè)量工作臺(tái)上，調(diào)整角度塊的位置和方向，使干涉儀能夠準(zhǔn)確測(cè)量角度；在干涉儀上設(shè)置角度測(cè)量功能，并進(jìn)行測(cè)量；記錄干涉儀測(cè)量得到的角度值，并與標(biāo)準(zhǔn)角度塊的標(biāo)稱角度值進(jìn)行對(duì)比；計(jì)算角度測(cè)量示值誤差，公式為：示值誤差 = 測(cè)量值 - 標(biāo)稱值；按照上述步驟，依次對(duì)不同角度的標(biāo)準(zhǔn)角度塊進(jìn)行測(cè)量和計(jì)算示值誤差；分析角度測(cè)量示值誤差是否在允許范圍內(nèi)。若超出允許范圍，可通過(guò)調(diào)整干涉儀的角度測(cè)量光路、校準(zhǔn)角度測(cè)量算法等進(jìn)行校準(zhǔn) 。

（六）平面度測(cè)量示值誤差校準(zhǔn)（適用于具有平面度測(cè)量功能的干涉儀）

1. 標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡準(zhǔn)備：選用高精度的標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡，其平面度誤差應(yīng)遠(yuǎn)小于干涉儀的平面度測(cè)量允許誤差。

2. 校準(zhǔn)步驟：將標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡放置在干涉儀的測(cè)量工作臺(tái)上，調(diào)整反射鏡的位置，使干涉儀能夠?qū)Ψ瓷溏R的平面度進(jìn)行測(cè)量；在干涉儀上設(shè)置平面度測(cè)量功能，并進(jìn)行測(cè)量；記錄干涉儀測(cè)量得到的平面度誤差值，并與標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡的標(biāo)稱平面度誤差值進(jìn)行對(duì)比；計(jì)算平面度測(cè)量示值誤差；分析平面度測(cè)量示值誤差是否在允許范圍內(nèi)。若超出允許范圍，可通過(guò)調(diào)整干涉儀的光學(xué)系統(tǒng)、校準(zhǔn)平面度測(cè)量算法等進(jìn)行校準(zhǔn) 。

八、校準(zhǔn)結(jié)果處理

1. 校準(zhǔn)證書(shū)：校準(zhǔn)完成后，應(yīng)出具校準(zhǔn)證書(shū)。校準(zhǔn)證書(shū)應(yīng)包含以下內(nèi)容：校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)名稱、地址；委托方名稱、地址；被校準(zhǔn)干涉儀的型號(hào)、編號(hào)、生產(chǎn)廠家等信息；校準(zhǔn)依據(jù)；校準(zhǔn)環(huán)境條件；校準(zhǔn)項(xiàng)目、校準(zhǔn)結(jié)果、測(cè)量不確定度；校準(zhǔn)日期、校準(zhǔn)人員、核驗(yàn)人員簽名等 。

2. 校準(zhǔn)結(jié)果判定：根據(jù)校準(zhǔn)結(jié)果，判斷干涉儀是否符合使用要求。若校準(zhǔn)項(xiàng)目的測(cè)量結(jié)果均在允許范圍內(nèi)，則判定該干涉儀校準(zhǔn)合格；若有任何一項(xiàng)校準(zhǔn)項(xiàng)目的測(cè)量結(jié)果超出允許范圍，則判定該干涉儀校準(zhǔn)不合格 。對(duì)于校準(zhǔn)不合格的干涉儀，應(yīng)注明不合格項(xiàng)目及具體偏差情況，并建議委托方對(duì)干涉儀進(jìn)行維修或調(diào)整后重新校準(zhǔn) 。

3. 測(cè)量不確定度評(píng)定：對(duì)校準(zhǔn)結(jié)果進(jìn)行測(cè)量不確定度評(píng)定，分析不確定度的來(lái)源，如標(biāo)準(zhǔn)件的不確定度、測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度、環(huán)境因素引入的不確定度等，并給出合成不確定度和擴(kuò)展不確定度 。測(cè)量不確定度評(píng)定應(yīng)按照相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范進(jìn)行，例如JJF 1059.1《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》 。在校準(zhǔn)證書(shū)中應(yīng)明確給出測(cè)量不確定度的評(píng)定結(jié)果 。

九、復(fù)校時(shí)間間隔

一般情況下，干涉儀的復(fù)校時(shí)間間隔建議為1年。但實(shí)際復(fù)校時(shí)間間隔可根據(jù)干涉儀的使用頻率、使用環(huán)境、測(cè)量要求等因素進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整。如果在使用過(guò)程中發(fā)現(xiàn)干涉儀測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)異常或懷疑其準(zhǔn)確性時(shí)，應(yīng)及時(shí)進(jìn)行校準(zhǔn) 。

十、注意事項(xiàng)

1. 校準(zhǔn)過(guò)程中應(yīng)嚴(yán)格按照操作規(guī)程進(jìn)行操作，避免因操作不當(dāng)導(dǎo)致干涉儀損壞或測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確。

2. 校準(zhǔn)前應(yīng)對(duì)干涉儀和校準(zhǔn)設(shè)備進(jìn)行預(yù)熱，使其達(dá)到穩(wěn)定工作狀態(tài)，以減少溫度變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

3. 在校準(zhǔn)過(guò)程中，應(yīng)避免對(duì)干涉儀和校準(zhǔn)設(shè)備產(chǎn)生振動(dòng)、沖擊和電磁干擾，確保測(cè)量環(huán)境的穩(wěn)定性。

4. 清潔光學(xué)元件時(shí)，應(yīng)使用柔軟的無(wú)塵擦拭布和無(wú)水乙醇，輕輕擦拭，避免劃傷光學(xué)表面。

5. 校準(zhǔn)完成后，應(yīng)妥善保管校準(zhǔn)證書(shū)和校準(zhǔn)記錄，以便日后查詢和追溯 。