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儀器介紹：

在材料科學、半導體研究及納米技術(shù)不斷發(fā)展的推動下，對高溫實驗設備的性能要求日益提高。特別是在化學氣相沉積（CVD）、材料熱處理、真空燒結(jié)等需要嚴格氣氛與溫度控制的工藝中，設備的穩(wěn)定性、精確性和操作便捷性直接影響著實驗結(jié)果的質(zhì)量與科研效率。為滿足這些高精度實驗需求，高溫真空氣氛管式爐應運而生，成為高校和科研機構(gòu)實驗室中的關(guān)鍵裝備。

高溫真空氣氛管式爐專為1100℃或1700℃以下的CVD工藝及其他高溫反應設計，能夠在真空、惰性氣體或可控氣氛條件下穩(wěn)定運行，適用于多種材料的合成、涂層制備及結(jié)構(gòu)調(diào)控研究。其采用開啟式結(jié)構(gòu)設計，極大地方便了樣品的裝載與取出，并提升了爐管更換與清潔的便捷性，顯著提高了實驗效率和設備維護的靈活性。

儀器特點：

1.最高溫度1100℃、1700℃。

2.分體式設計，降溫速率快。
3.工作管徑范圍φ30mm、φ40mm、φ50mm、φ60mm、φ80mm、φ100mm。
4.高純氣煉石英管或者高純陶瓷管。

5.輕質(zhì)陶瓷纖維隔熱材料，耐熱沖擊性好，蓄熱低。

6.快速升溫，升溫速率可達10℃。

7.半導體繼電器控制加熱元器件，控溫精確，壽命長，無噪音。

8.多段程序控溫，PID調(diào)節(jié)，可編制多種升降溫程序。

9.超溫保護功能，超溫自動斷電。

可選配置：

1.真空泵
2.多區(qū)控溫，兩溫區(qū)YMG(2)系列或三溫區(qū)YMG(3)系列（如下圖）
3.瑞典kanthal 電熱絲

4.數(shù)顯真空計（高精度顯示真空值）

5.多路氣氛混氣系統(tǒng)（浮子流量計或質(zhì)量流量計）

6.無紙紀錄儀（帶通訊端口）

技術(shù)參數(shù)：