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產(chǎn)地類別	進口	應用領域	地礦,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合
序列號	176.0755.4908.

ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀

操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態(tài)確認等。

燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設備的極限壓力確認

用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環(huán)境中進行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設備

具有映射功能的自動平臺類型

UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測量方式，實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括的便攜式，自動式和對應真空環(huán)境的設備內(nèi)置式類型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通過自動R-θstage和自動對焦功能，快速自動測量整個樣品表面的膜厚，并通過彩色地圖顯示膜厚分布。

特點

高速測定：
的快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜：
波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的光學部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護。
豐富的產(chǎn)品陣容：
產(chǎn)品陣容應用廣泛，包括如的便攜類型，手動/自動平臺類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測量

規(guī)格

型號	1500年	2000年	3000A
波長范圍	530～750nm、380～760nm（選擇）
點直徑	Φ1mm、Φ0.3mm（選擇）
入射角度	70o固定
膜厚再現(xiàn)性	1σ = 0.1納米
膜厚范圍	1納米～2微米
測量時間	光接收：20ms至3000ms計算：300ms
平臺	Φ150mm自動	Φ200mm自動	Φ300mm自動
自動測量	200點	200點	2,000點
控制PC	筆記本類型（帶操作/分析軟件）
機器構(gòu)成	測量本體、控制器、操作PC（筆記本型）、使用說明書（CD）

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