產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	地礦,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合
序列號	176.0755.4908.

ULVAC愛發(fā)科回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6

操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(jì)（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計(jì)的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí)）。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量

用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

多傳感器

CRTS 系列

CRTS-M6

愛發(fā)科

CRTS-M6是為水晶振蕩式成膜控制器CRTM系列開發(fā)的回轉(zhuǎn)式多傳感器。
可以搭載5MHz或者6MHz的水晶振蕩片6枚，連續(xù)蒸發(fā)也可放心使用。

特點(diǎn)

可搭載6枚5MHz或6MHz的水晶振動(dòng)子
使用了真空電機(jī)的獨(dú)-特驅(qū)動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)了高可靠性
水晶震動(dòng)子的更換非常方便
當(dāng)檢測到水晶振動(dòng)子振蕩異常時(shí)，可以自動(dòng)進(jìn)行水晶振動(dòng)子切換（當(dāng)CRTM系列用作控制器時(shí)）
由于傳感器頭很小（直徑50mm），可以靈活地連接到成膜系統(tǒng)。