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電動機(jī)功率	100V2AkW	外形尺寸	中等的mm
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,農(nóng)林牧漁,電子/電池,電氣,綜合	序列號	176.0755.4908.

全新 BROOKS 簡化流量控制儀器 SLA5850

長期零點(diǎn)穩(wěn)定性：0.2%滿量程/年或更小

高精準(zhǔn)度

額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm

高壓額定值 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）

可配置的多氣體/多范圍功能

易于訪問的獨(dú)立診斷/服務(wù)端口

廣泛的通信選項，包括 DeviceNet®、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485、模擬接口

模塊化設(shè)計，方便工廠或現(xiàn)場維護(hù)

傳感器的長期穩(wěn)定性消除了維護(hù)或定期重新校準(zhǔn)的需要，從而降低了總擁有成本

Brooks Instrument 專有的熱傳感器技術(shù)可提高信噪比并提高低設(shè)定點(diǎn)下的流量精度

通過一個設(shè)備平臺兼容各種氣體范圍/流量范圍

最多可以編程和保存 6 種校準(zhǔn)類型。通過一臺設(shè)備即可在不同氣體和范圍之間切換，從而減少庫存

用戶可以輕松訪問服務(wù)端口，并簡化安裝、故障排除和診斷任務(wù)，而無需中斷流量控制器操作

耐用的金屬頂蓋可防止安裝過程中損壞

多協(xié)議通信接口簡化了與現(xiàn)有系統(tǒng)的集成

通過基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測量和校準(zhǔn)實現(xiàn)高精度

化學(xué)和石化催化劑研究和中試工藝

實驗室和分析系統(tǒng)

燃料電池技術(shù)

生命科學(xué)生物反應(yīng)器

流量范圍（滿量程容量）

.003 - 2500 英里/分鐘

準(zhǔn)確性

17025 認(rèn)證設(shè)備（包括線性度，不包括校準(zhǔn)系統(tǒng)測量不確定度，根據(jù) SEMI E69）

±0.6% SP (20-100% FS)

±0.12% 滿量程 (<20% 滿量程)

1100 slpm 至 2500 slpm：±0.6% FS

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備（包括參考標(biāo)準(zhǔn)的不確定性

±0.9% SP (20-100% FS)

±0.18% 滿量程 (2-20% 滿量程)

1100 slpm 至 2500 slpm：滿量程的 ±1.0%

再現(xiàn)性

0.20% SP

線性度

包含在準(zhǔn)確度中

響應(yīng)時間

0.003 - 100 slpm：<1 秒

100 - 2500 slpm：<3 秒

多氣體多范圍

標(biāo)準(zhǔn)

最大壓力

.003-200 slpm：1500 psi/103 巴

100 - 2500 slpm：1000 psi/70 巴

最大 50 slpm 設(shè)備上可選 4500 psi/310 bar

控制范圍

1-50 slpm：FS 調(diào)節(jié)比為 100:1

50-2500 lpm：FS 調(diào)節(jié)比為 50:1

零穩(wěn)定性

每年 < 0.2%FS

溫度系數(shù)

零：每o C < FS 的 0.05%

量程：每o C < SP 的 0.1%

壓力系數(shù)

0.03% 每 psi (0-200 psi N2 )

態(tài)度敏感性

重新調(diào)零后與規(guī)定精度的最大偏差<0.2% FS

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