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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	1-5萬
應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,電氣

Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI概述：

差分干涉儀允許測量相對(duì)于定義參考對(duì)象的位置變化。

差分發(fā)射頭具有光學(xué)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡可在設(shè)定過程中實(shí)現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整，從而改進(jìn)準(zhǔn)直過程（僅適合平面鏡應(yīng)用）。

RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個(gè)簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進(jìn)入工作腔即可校正光路，內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡可對(duì)參考和測量光束的俯仰和扭擺進(jìn)行獨(dú)立的調(diào)整，安裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置，對(duì)系統(tǒng)準(zhǔn)直的影響極小。

特性與優(yōu)點(diǎn)：

測量性能-ppb穩(wěn)頻精度，超低周期誤差，輸出分辨率達(dá)到38.6pm。

差分配置-測量運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相對(duì)于安裝立柱的位移，從而消除常見模式誤差，例如與環(huán)境波動(dòng)有關(guān)的工作區(qū)側(cè)壁移動(dòng)。

快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直-采用四個(gè)內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡，很簡單地在真空室外部進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整，從而消除真空室和鏡組安裝公差。

通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結(jié)合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能，必將成為真空室和其他空調(diào)嚴(yán)格控制環(huán)境中的應(yīng)用的理想選擇。

Renishaw雷尼紹差分干涉儀規(guī)格：

軸行程	0m-1m
分辨率（使用RLU配置）	模擬正交=λ/4 (158nm) 數(shù)字正交=10nm RPI20分辨率=38.6pm
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口	低于50mm/s且信號(hào)強(qiáng)度>70%時(shí)<±1nm 1m/s且信號(hào)強(qiáng)度>50%時(shí)<±6nm
最高速度	最高可達(dá)1m/s