光譜干涉測量傳感器基于薄膜干涉原理，薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得第一束光，折射光經(jīng)薄膜下表面反射，又經(jīng)上表面折射后得第二束光，這兩束光在薄膜的同側(cè)，由同一入射光振動分出，是相干光，屬分振幅干涉。當(dāng)由一組波長組成的白光入射到薄膜上時，某些波長的光被增強(qiáng)，而某些波長的光則被減弱。通過對混合的兩個波前產(chǎn)生的光干涉條紋進(jìn)行光譜分光，測算干涉信號的頻率光譜，