真空加熱臺(tái)頂升烤膠機(jī)恒溫加熱板

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 配置硬質(zhì)陽極氧化鋁耐腐蝕加熱面板

l 加熱面板均勻性好，溫控精度高，不易變形，耐腐蝕，同時(shí)具有升溫迅速，程序段控溫，控溫精準(zhǔn)等優(yōu)點(diǎn)

l 7寸全彩觸摸屏，高級(jí)工業(yè)PLC控制，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)升降，定時(shí)取片

l 可以設(shè)置頂針高度，實(shí)現(xiàn)無接觸式烤膠

l 可實(shí)現(xiàn)在真空或氮?dú)猸h(huán)境下的各種樣品加熱實(shí)驗(yàn)

真空加熱臺(tái)頂升烤膠機(jī)恒溫加熱板

技術(shù)參數(shù)： 

1.加熱面板尺寸：220*220mm（可支持最大8寸晶圓）

2.外形尺寸：長(zhǎng)380X寬440X高440mm 真空腔體內(nèi)部尺寸：長(zhǎng)270*寬270*高170mm

3.加熱面板材質(zhì)：陽極氧化鋁合金

4.控溫范圍：室溫-160℃,溫度分辨率：0.1℃ 溫度均勻性：±1%℃   控溫精度：±0.1 ℃ （溫度恒定時(shí)）

5.電動(dòng)頂針調(diào)節(jié)高度:  0-30mm  頂升方式：自動(dòng)或手動(dòng)

6.支持定時(shí)升降，可儲(chǔ)存6組程序配方，每組配方30個(gè)加熱階段

7.最大真空度：0.1MPa

9.電源輸入：220V   1000W     

10.支持 4  6 7 8 寸基片限位

實(shí)物圖片如下：