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OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2022-03-31 15:59:46瀏覽次數(shù):578

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,石油,電氣
OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng),最高溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

詳細(xì)介紹

OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)介紹:
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃  

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意)、不會(huì)生銹,使用時(shí)間再長都不會(huì)掉渣。  

(3)、Kanthal電阻絲資料下載  

(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站:www.kanthal.com  

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好  

OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時(shí)可以調(diào)出  

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。  

2、采用日本技術(shù)成型。  

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場  

4、采用4周加熱,溫場更加均衡  

1.為了增加抽氣速率,達(dá)到更高真空的要求??蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25)  

2.如用于供氣系統(tǒng),可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.  

3.轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)功率:40W  

4.電動(dòng)推桿功率:40W  

5.爐子傾斜角度:-10~30度  

6.爐管轉(zhuǎn)動(dòng)速率:采用無級(jí)變速電機(jī)轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min之間可調(diào)  

7.轉(zhuǎn)動(dòng)密封方式:采用轉(zhuǎn)動(dòng)磁流體密封  

8.四周表面溫度:≤45℃

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