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　　壓電納米定位臺具有移動面，是通過帶有柔性鉸鏈的機械結構將壓電陶瓷產生的位移及出力等進行輸出，分直驅與放大兩種結構。以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，驅動形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。運動范圍可達500μm，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可實現納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領域中發(fā)揮著主要作用。

　　三維納米定位臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦等特點。納米定位臺的驅動形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。1-3維運動，行程范圍最大可達1.1mm，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，可以選擇配置高精度電容、電感、電阻應變計傳感器實現納米級分辨率及定位精度且具有的可靠性。壓電納米定位臺在精密定位領域中發(fā)揮著至關重要的作用。

　　三維納米定位臺產品屬于高精密儀器，對于安裝與使用有著非常嚴格的要求，以保證其長期使用的可靠性與穩(wěn)定性。

　　此外，壓電納米定位臺還可用于：

　　光路調整；

　　納米操控技術；

　　納米光刻，生物科技；

　　激光干涉；

　　CCD圖像處理；

　　納米測量、顯微操作；

　　納米壓印、納米定位；

　　顯微成像，共焦顯微。