目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>實(shí)驗(yàn)室檢測及分析儀器>>膜厚儀>> TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,地礦,能源,綜合 |
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產(chǎn)品名稱 | TF200薄膜厚度測量系統(tǒng) | |||
產(chǎn)品型號 | TF200-VIS | TF200-EXR | TF200-DUV | TF200-XNIR |
主要特點(diǎn) | 快速、準(zhǔn)確、無損、靈活、易用、性價比高 | |||
應(yīng)用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等) LED (SiO2、光刻膠ITO等） 觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等) 汽車(防霧層、Hard Coating DLC等） 醫(yī)學(xué) | |||
波長范圍 | 380-1050nm | 380-1700nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
厚度范圍 | 50nm-40um | 50nm-300um | 1nm-30um | 10um-3mm |
準(zhǔn)確度（取決于材料0.4%或2nm之間取較大者） | 2nm | 2nm | 1nm | 10nm |
精度 | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
入射角 | 90° | 90° | 90° | 90° |
樣品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
測量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
光斑尺寸（可選微光斑附件。） | 2mm | 2mm | 2mm | 2mm |
是否能在線 | 是 | 是 | 是 | 是 |
掃描選擇 | XY可選 | XY可選 | XY可選 | XY可選 |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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