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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
FMSZ-C系列直線電機升降臺
l行程覆蓋50mm、100mm
l兩種版本可選配
l集成式?體化交叉滾柱導軌
l靜音位移臺
l免費標準版SDK
l高性能控制器
l可選配EtherCAT總線控制
產品簡介
FMSZ-C系列直線電機升降臺：我們的直線電機垂直升降臺，可選擇恒力彈簧配重和氣缸配重兩種版本。特別適用于對尺寸有特殊要求，且對Pitch，Yaw要求嚴苛的應?場合。在高精度檢測、精密實驗室基本建設等應用環(huán)境下，FMSZ-C系列升降臺具有結構簡單且擁有優(yōu)秀的微步能力和位置穩(wěn)定性的特點。
產品應用
l精密Z軸
l儀器設備
l半導體檢測
l半導體切割
性能實測
FMSZ125C-50
FMSZ140C-100
接線定義
電機接口
反饋接口
產品圖紙
FMSZ125C-50
FMSZ140C-100
產品參數
Model | FMSZ125C-50 | FMSZ140C-100 |
?程(mm) | 50 | 100 |
負載(Kg) | 4 | 4 |
分辨率(μm) | 0.1 | 0.1 |
最?步進量(μm) | 0.3 | 0.3 |
單向重復定位精度/保證值(μm) | ±0.5 | ±0.5 |
單向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.3 | ±0.3 |
雙向重復定位精度/保證值(μm) | ±1 | ±1 |
雙向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 |
定位精度/保證值(μm) | ±2 | ±2 |
定位精度/典型值(μm) | ±1 | ±1 |
最?速度(mm/s) | 100 | 100 |
直線度(μm) | 10 | 10 |
平整度(μm) | 10 | 10 |
偏擺 | 20 | 20 |
俯仰 | 20 | 20 |
持續(xù)推?(N) | 17.6 | 17.6 |
峰值推?(N) | 88 | 88 |
重量(kg) | 6.5 | 10.2 |
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