FMSS系列方臺面整體平移臺

l行程覆蓋38mm、48mm

l?形臺面設(shè)計

l集成式?體化交叉滾柱導(dǎo)軌

l靜音位移臺

l免費標(biāo)準(zhǔn)版SDK

l高性能控制器

l可選配EtherCAT總線控制

產(chǎn)品簡介

FMSS系列方臺面整體平移臺：精度高和機(jī)身尺寸小兼而有之的運動控制產(chǎn)品非常難于設(shè)計。我們經(jīng)過三年研發(fā)，反復(fù)測試，終于推出了該系列產(chǎn)品，并成功應(yīng)?于商業(yè)化原子力顯微鏡。FMSS系列產(chǎn)品采?進(jìn)口直線電機(jī)，集成?體式交叉滾柱導(dǎo)軌和光柵尺，速度均勻性波動在千分之?以內(nèi)。在保證精度、承載前提下，將體積壓縮至最小。

產(chǎn)品應(yīng)用

l激光打靶

l晶圓打磨

l激光工業(yè)

l醫(yī)美醫(yī)療

l高級儀器設(shè)備

l原?力顯微鏡

性能實測

接線定義

電機(jī)接?

反饋接?

產(chǎn)品圖紙

FMSS90C-38

FMSS125C-48

產(chǎn)品參數(shù)