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HPGP-101-C-高壓氣體粒子計數(shù)器
  • HPGP-101-C-高壓氣體粒子計數(shù)器
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貨物所在地：上海上海市

更新時間：2024-07-15 08:38:23

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高壓氣體粒子計數(shù)器
高技術(shù)生產(chǎn)工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數(shù)無害氣體相匹配，它可以應(yīng)用于多種活性氣體監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭會在影響產(chǎn)量之前，加快工藝氣體分配系統(tǒng)的資格確認，監(jiān)測氣體中的粒子。

高壓氣體粒子計數(shù)器

靈敏度范圍：0.1 - 5.0 µm

HPGP-101-C高壓氣體探頭

高技術(shù)生產(chǎn)工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數(shù)無害氣體相匹配，它可以應(yīng)用于多種活性氣體監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭會在影響產(chǎn)量之前，加快工藝氣體分配系統(tǒng)的資格確認，監(jiān)測氣體中的粒子。

高壓氣體粒子計數(shù)器HPGP與粒子數(shù)據(jù)系統(tǒng)、以太網(wǎng)(PDS-E)配對，收集并報告由探測器捕獲的數(shù)據(jù)。

  • 安全保護殼

  • 氧氣與氫氣兼容性

  • 0.1SCFM下，靈敏度為0.1μm

  • 8個粒子通道

  • 管道壓力從40到150psig

  • 被動式激光源

  • 并行處理陣列檢測器系統(tǒng)

  • 核實粒子質(zhì)量

  • 檢測工藝異常

  • 量化系統(tǒng)更改的影響

  • 提供精確粒徑

  • 使用 Facility Net軟件來進行全面的數(shù)據(jù)存儲、管理、報告和警報

  • 被動式激光源設(shè)計只需極少的維護

  • 凈化的惰性氣體確保安全

  • 樣本氣體一旦泄漏，容器立刻終止電源

  • 氣體分布系統(tǒng)的資格確認

  • 工藝氣體監(jiān)測

  • 活性氣體監(jiān)測



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