
流量不穩(wěn)定(Flow unstable/Having Spike)
實際流量偏差超出規(guī)格(Actual flow out of SPEC)
流量無法控制 (Flow cannot be controlled)
響應時間延遲 (Flow response time delay)
已修復MFC保修:6個月
耗材更換:O形圈、金屬密封、閥門、電氣部件
MFC內的氣體配件和管道清潔(超聲波和化學)
MFC集成PCB修復
完井測試(功能和泄漏)
MFC內部和外部泄漏測試
MFC特定點流量測試
MFC設定點流量特定循環(huán)測試
MFC功能老化測試(10小時)
