日本三井電氣mitsuiec實(shí)驗(yàn)性納米烙印機(jī)TM-03
納米壓印法作為一種通過在樹脂或玻璃上按壓經(jīng)過數(shù)十至數(shù)百納米的超細(xì)加工的金屬模具而在短時間內(nèi)產(chǎn)生大量相同形狀的零件的技術(shù)而引起人們的注意。該方法也大致分為通過加熱軟化并進(jìn)一步冷卻和固化的熱固化方法，以及使用UV固化樹脂并通過UV光固化的光固化方法。

日本三井電氣mitsuiec實(shí)驗(yàn)性納米烙印機(jī)TM-03

納米壓印法作為一種通過在樹脂或玻璃上按壓經(jīng)過數(shù)十至數(shù)百納米的超細(xì)加工的金屬模具而在短時間內(nèi)產(chǎn)生大量相同形狀的零件的技術(shù)而引起人們的注意。該方法也大致分為通過加熱軟化并進(jìn)一步冷卻和固化的熱固化方法，以及使用UV固化樹脂并通過UV光固化的光固化方法。

型號TM-03

該設(shè)備是一種小型的研究設(shè)備，可以打印20 mm×20 mm的樣品。迄今為止，我們已經(jīng)制造出許多壓印裝置，它們相對較大，并且我們還不能改善世界上與壓印裝置有關(guān)的問題，例如研究成本負(fù)擔(dān)和確保安裝位置。做到了。

因此，我們創(chuàng)建了一種小型且不會占用實(shí)驗(yàn)室空間的設(shè)備，并且可以在各種條件下進(jìn)行研究。該納米壓印裝置主要是從大學(xué)研究和實(shí)驗(yàn)的角度來制造的，由于消除了納米壓印裝置的昂貴引入的圖像，因此我們在考慮了裝置的尺寸和可用性之后也生產(chǎn)了這種尺寸的納米壓印裝置。壓印方法使用光固化方法，并且可以記錄圖形和表格數(shù)據(jù)。您為什么不比以往更輕松地嘗試使用新技術(shù)進(jìn)行現(xiàn)場實(shí)驗(yàn)？

[此設(shè)備的規(guī)格]

壓印方法	光固化方法
紫外線裝置性能	光強(qiáng)度400 mW / cm2 波長大365 mm
壓剝負(fù)荷	0.1?100N
樣本量	20毫米x 20毫米
壓機(jī)剝離速度	1?1000微米/秒
電源供應(yīng)	100伏交流電
樣品板	硅晶片/玻璃基板
設(shè)備重量	約25kg

型號TM-04

到目前為止，納米壓印設(shè)備已經(jīng)在各個地方進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)，并且每天都在進(jìn)行實(shí)際研究。到目前為止，我們已經(jīng)制造了各種壓印設(shè)備，但是還沒有制造簡單的壓印設(shè)備。

因此，我們創(chuàng)建了前suo未有的納米壓印設(shè)備，其概念是“無論光固化電源的位置如何，都可以攜帶一個簡單的便攜式壓印設(shè)備”。設(shè)備上裝有LED型紫外線燈，并使用電機(jī)驅(qū)動器進(jìn)行升降，調(diào)節(jié)升降速度的操作很簡單。

多可施加200N的壓力傳遞壓力，而Φ20則可用于基材。首先，對于那些希望通過簡單的測試機(jī)廉價地打標(biāo)的人來說，這是一臺推薦的機(jī)器。

[此設(shè)備的規(guī)格]

壓印方法	光固化方法
紫外線裝置性能	光強(qiáng)度6.0 mW / cm2 波長大370 mm
壓載	1?20牛
樣本量	10毫米x 10毫米
壓機(jī)剝離速度	20毫米/秒
電源供應(yīng)	AC100V或 DC12V 2.3A小電池
樣品板	硅晶片/玻璃基板
設(shè)備尺寸	高469 x寬300 x深200（毫米）

日本三井電氣mitsuiec實(shí)驗(yàn)性納米烙印機(jī)TM-03

型號TMR-02

本設(shè)備使用EB曝光系統(tǒng)通過熱固化或UV固化在大直徑輥（Φ150）上雕刻刻有輥壓印模具小直徑輥（Φ30）的納米圖案，以形成小直徑輥圖案。這是一種測試輥壓印設(shè)備，可將這種大直徑輥式模具的納米圖案轉(zhuǎn)印到薄膜上，然后將薄膜轉(zhuǎn)印到大直徑輥上。

[此設(shè)備的規(guī)格]

壓印方法	熱固化法/ UV固化法
滾滾	Φ300x 150
按對象	0.08?0.2噸
大輥壓負(fù)荷	500N
單位面積負(fù)荷	3.92牛頓/毫米²
涂布方式	尺寸壓制法/逗號滾模法

 

型號TM-02

該裝置的納米壓印裝置可以通過該單元實(shí)現(xiàn)同時具有熱固化和光固化的兩種方法，并且壓印是通過從頂部進(jìn)行印刷壓力來進(jìn)行的。

除了設(shè)置所需的壓力負(fù)荷/速度和剝離負(fù)荷/剝離速度以外，還可以在PC上記錄研究/開發(fā)試生產(chǎn)所需的各種條件和測量結(jié)果，以便將來進(jìn)行生產(chǎn)。它是在設(shè)置條件中起作用的設(shè)備。

[此設(shè)備的規(guī)格]

壓印方法	熱固化法/光固化法
壓力/加載速度（總壓力）	1?1000微米/秒
大負(fù)荷	從室溫到250°C
工作尺寸	50 x 50毫米

【測試條件】

 

• 負(fù)載檢測
• 壓機(jī)速度
• 剝離速度
• 真空度/每個溫度
• 每一次