廢水處理過程中，臭味物質主要是由碳、氮、硫元素組成。只有一小部分產生氣味的物質是無機化合物，如氨氣、磷、硫化氫；大部分產生氣味的物質是有機物，如低分子脂肪酸、胺、醛、酮、醚等。從近幾年的污水處理廠的進水情況來看，80%的進水為生活污水，即有機物含量較高，無機化合物含量相對較少。大多數(shù)的有機物質，如低分子脂肪酸、胺、醛、酮、醚等，都有活性基團，非常容易發(fā)生化學反應，尤其是易被氧化，利用臭氧具有強氧化性這一特點，對活性基團進行氧化，使氣味消失，從而達到除臭的原理。

除了除臭之外，臭氧還可以防止臭味的重復產生，因為污水處理廠除臭滅菌設備臭氧發(fā)生器的氣體中含有大量的氧氣或空氣，而在缺氧的環(huán)境中產生臭味的物質很容易引起臭味，采用臭氧處理，在氧化除臭的同時，形成富氧環(huán)境，可以防止臭味的重復產生，對城市生活污水廠的污水處理環(huán)境改善作用仍較大。

污水處理廠除臭滅菌設備臭氧發(fā)生器產生的臭氧溶解在水中可以被氧化分解，從而有效去除水中的重金屬離子、有機毒物、硫化物和農藥。臭氧體通過氧原子的氧化破壞微生物的膜結構，從而實現(xiàn)滅菌。臭氧對細菌的滅活反應總是非常迅速，與其它滅菌劑不同，臭氧可以與細菌細胞壁中的脂質發(fā)生雙鍵反應，滲透到細菌內部，作用于蛋白質和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細菌死亡。

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