馬爾粗糙度輪廓儀

產(chǎn)品特點(diǎn) :

l  高速移動(dòng)和定位

l  130mm/260mm長測(cè)量行程以及大測(cè)頭測(cè)量范圍

l  創(chuàng)新測(cè)針系統(tǒng)以及仿生學(xué)測(cè)臂設(shè)計(jì)

l  磁性的測(cè)臂夾持裝置和測(cè)臂識(shí)別裝置

l  粗糙度和輪廓度二合一

l  基于友好服務(wù)理念的模塊化設(shè)計(jì)

馬爾粗糙度輪廓儀

技術(shù)參數(shù):

水平軸的特征：

Ø  行程長度(Lt)：0. mm to 260 mm

Ø  定位速度：0.02 mm/s 到 200 mm/s

Ø  測(cè)量速度：0.02 mm/s 到 10 mm/s; 粗糙度測(cè)量 推薦速度0.1 mm/s至0.5 mm/s

Ø  X方向取樣間距：0.05 μm至30 μm,可調(diào)整

Ø  每次測(cè)量多測(cè)量點(diǎn)：5200000點(diǎn)

Ø  分辨率：0.8 nm

Ø  X軸測(cè)量的不確定度：± (0.2+l/1000) μm; l 單位 mm

測(cè)頭系統(tǒng)特征：

Ø  測(cè)頭測(cè)量范圍：26 mm (200 mm測(cè)臂)

Ø  分辨率：0.8mm

Ø  測(cè)量力：0.5 mN to 30 mN, 可通過軟件設(shè)置

殘余誤差 Rz0, Rq0：

Ø  vt = 0.1 mm / s時(shí)的殘余誤差：Rz0≤ 20 nm  Rq0≤ 1 nm, typical

輪廓：

Ø  距離測(cè)量顯示誤差：± (1.0+l / 150) µm; l 單位 mm

Ø  半徑測(cè)量顯示誤差：(R ≤ 10 mm) ± 1 µm (10 mm < R ≤ 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm