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HCP421V-PM微型探針冷熱臺可單獨(dú)使用，也可搭配顯微鏡/光譜儀使用。其可在-190℃~400℃范圍內(nèi)控溫，同時(shí)允許探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

微型探針冷熱臺功能特點(diǎn)

迷你溫控探針臺，可用于顯微鏡/光譜儀

-190℃~400℃可編程控溫（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)）

φ26 mm加熱區(qū)

可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用

SMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針，手動點(diǎn)針,

*可選六探針*可選三同軸接口，用于pA的級測試

溫控參數(shù)

溫度范圍-190℃~400℃（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)）

傳感器/溫控方式100Ω鉑RTD/PID控制（含LVDC降噪電源）

最大加熱/制冷速度30℃/min

最小加熱/制冷速度±0.01℃/min

溫度分辨率0.01℃

溫度穩(wěn)定性±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針*可選其他種類探針

探針座杠桿式探針支架，點(diǎn)針力度更大，電接觸性更好

點(diǎn)針手動點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置

探針接口默認(rèn)為SMA接頭轉(zhuǎn)BNC

*可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）

樣品臺面電位默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

非磁性改造臺體可改用非磁性材質(zhì)制造，用于變溫霍爾效應(yīng)探針測試

光學(xué)參數(shù)

適用光路反射光路*另有透射光路型號

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離8 mm*截面圖中WD

透光孔臺面默認(rèn)無通光孔，可增設(shè)通光孔以支持透射光路

上蓋窗片觀察窗片范圍φ18mm，最大視角±45°*截面圖中θ1

負(fù)溫下窗片除霜吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

加熱區(qū)/樣品區(qū)φ26 mm

樣品腔高5.8 mm*樣品最大厚度由探針決定

放樣打開上蓋后置入樣品再點(diǎn)針，關(guān)上蓋后無法移動探針

氣氛控制可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用

外殼冷卻可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

安裝方式水平安裝或垂直安裝

臺體尺寸/重量180 mm x 130 mm x 27 mm/1600g

配置列表

基本配置HCP421V-PM溫控探針臺、mK2000B溫控器、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)

可選配件安裝支架、測試源表、真空系統(tǒng)、三同軸BNC接口、臺面電懸空、樣品接電引線