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納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)VS1800應(yīng)用光干涉現(xiàn)象,對(duì)微細(xì)的表面形貌進(jìn)行測(cè)量,可實(shí)現(xiàn)高性能薄膜、半導(dǎo)體、汽車(chē)零配件、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測(cè)量。而且還能以無(wú)損傷方式進(jìn)行多層膜的層結(jié)構(gòu)以及層內(nèi)部的異物測(cè)量。

測(cè)量表面形貌的新標(biāo)準(zhǔn)

隨著材料不斷趨向平坦化、薄膜化及結(jié)構(gòu)的微細(xì)化,人們開(kāi)始要求比傳統(tǒng)的普通SPM(掃描探針顯微鏡)、觸針式粗糙度測(cè)量?jī)x及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測(cè)量精度。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡,納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)VS1800,使用更方便,測(cè)量精度跟高,測(cè)量范圍更大。此外,傳統(tǒng)的采用線粗的測(cè)量方式仍存在“測(cè)量位置導(dǎo)致的結(jié)果偏差”和“掃描方向?qū)е碌慕Y(jié)果偏差”等重大課題。VS1800的解決對(duì)策是通過(guò)參照標(biāo)準(zhǔn)ISO25178規(guī)定的表面形貌評(píng)估方法來(lái)計(jì)算參數(shù),建立測(cè)量表面形貌的新標(biāo)準(zhǔn),從而受到了各界的關(guān)注。

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