全新上照式設(shè)計(jì)，搭載全自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)和影像識(shí)別功能，既能檢測(cè)納米級(jí)厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚，也可滿足微區(qū)RoHS檢測(cè)及全元素成分分析。

1）搭載微聚焦加強(qiáng)型X射線發(fā)生器和*光路轉(zhuǎn)換聚焦系統(tǒng)，最小測(cè)量面積達(dá)0.03mm2

2）擁有無(wú)損變焦檢測(cè)技術(shù)，手動(dòng)變焦功能，可對(duì)各種異形凹槽件進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)，凹槽深度范圍0-90mm

3）核心EFP算法，可對(duì)多層多元素，包括同種元素在不同層都可快、準(zhǔn)、穩(wěn)的做出數(shù)據(jù)分析（釹鐵硼磁鐵上Ni/Cu/Ni/FeNdB，精準(zhǔn)檢測(cè)第一層Ni和第三層Ni的厚度）

4）配備全自動(dòng)可編程移動(dòng)平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守，對(duì)成百上千個(gè)樣品進(jìn)行全自動(dòng)檢測(cè)

5）涂鍍層分析范圍：鋰Li（3）- 鈾U（92）

6）成分分析范圍：鋁Al（13）- 鈾U（92）

7）RoHS、鹵素有害元素檢測(cè)

8）人性化封閉軟件，自動(dòng)判斷故障提示校正及操作步驟，避免誤操作

9）標(biāo)配四準(zhǔn)直器自動(dòng)切換

10）配有微光聚集技術(shù)，最近測(cè)距光斑擴(kuò)散度小于10%