目錄:聯(lián)合光科技(北京)有限公司>>光學(xué)平臺和隔震系統(tǒng)>>主動減振器>> 模塊式主動減振器
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模塊式主動減振器塊式設(shè)計(jì),能適用于更多需要安裝配置的場合,外置控制箱。支撐分為彈簧型和氣浮型,彈簧型主動減振適用于顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等靜態(tài)設(shè)備。氣浮型主動減振采用地面振動前饋與反饋控制相結(jié)合,提供出色的隔振效果;運(yùn)動前饋與速度反饋控制結(jié)合,有效消減平臺運(yùn)動加速度,快速穩(wěn)定平臺振動。適用于光刻機(jī)等運(yùn)動平臺設(shè)備,消減大質(zhì)量滑塊運(yùn)動帶來的振動;半導(dǎo)體設(shè)備,及高精度、高速度加速度的精密運(yùn)動平臺等。
模塊式主動減振器特點(diǎn):
*安裝方便,接入電源即可使用
*調(diào)節(jié)水平功能,操作簡便
*模塊化的主動減振器,可根據(jù)設(shè)備重量和尺寸,制作成各種平臺
*6自由度振動信號實(shí)時(shí)檢測,執(zhí)行器提供推力,主動衰減振幅
*實(shí)時(shí)監(jiān)控臺面振動
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