• 產(chǎn)品介紹

澤攸科技JS系列臺階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應用場景及可靠的測量性能，可以對微納結(jié)構(gòu)進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應用。

JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點在于超微壓力恒定控制系統(tǒng)，通過精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力，既避免了對軟質(zhì)材料的損傷，又確保了測量過程的穩(wěn)定性。此外，設備搭載的攝像頭實時成像系統(tǒng)，可同步觀察樣品區(qū)域與探針尖的位置關(guān)系，輔助用戶精確定位特征結(jié)構(gòu)，顯著提升測量效率。

作為國產(chǎn)科學儀器的突破性成果，JS系列臺階儀打破了國外品牌在表面測量設備領(lǐng)域的長期壟斷，憑借高性價比與本地化服務優(yōu)勢，成為國內(nèi)高校、科研機構(gòu)及制造企業(yè)的優(yōu)選設備。

• 特點

量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設計、售后便捷、高性價比

• 應用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計劃任務和多點掃描

▲ 批量測試晶圓，批量處理數(shù)據(jù)等

• 系統(tǒng)組成

▲ EFEM（SMIF+ROBOT+ALINGER)

▲ JS200B

• 選配品

▲ 高度校準標樣

▲ FFU模塊

▲ 靜電消除模塊

▲ E84接口

• 技術(shù)參數(shù)