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上海壹僑國(guó)際貿(mào)易有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： FILA，DEBOLD，ESTA，baumer，bernstein，bucher，PILZ，camozzi，schmalz |
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聯(lián)系電話
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上海壹僑國(guó)際貿(mào)易有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： FILA，DEBOLD，ESTA，baumer，bernstein，bucher，PILZ，camozzi，schmalz |
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| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2025-05-05 08:54:57瀏覽次數(shù)：381
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè) |
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AZM 415-11/11ZPK 24 VAC/DC 101167205 門(mén)保護(hù)開(kāi)關(guān) SCHMERSAL
TAS301/220+X+209 潛水泵 brinkmann
KL5101 模塊 Beckhoff
M-3SED6CK13/350CG24N9K4/P(R900223864) 比例閥 Rexroth
ZS25GE-mn120/100/p10 風(fēng)速傳感器 Hoentzsch
NT 顯示表 Hoentzsch
MHA-A2P 壓力表 AirCom
FTL260-1020 液位傳感器 E+H
69010050B.SX12V025HP 振動(dòng)傳感器 SENSOREX
PSV 552/220-3 -42 H 80/80/A2 液壓閥 Hawe
PSV 55/220-3 -42 H 80/80 /C 2 液壓閥 Hawe
AZ16 ST1-AS SCHMERSAL 接近開(kāi)關(guān) SCHMERSAL
CFAM 12P3600/S14 編碼器 Baumer
z819/13/16X1.5 接頭 Hasco
z809/13/16X1.5 接頭 Hasco
AZ16 ST1-AS SCHMERSAL 接近開(kāi)關(guān) SCHMERSAL
IPRK 95/44 L.2 接近開(kāi)關(guān) Leuze
OGWSD 70 P3K-TSSL 放大器 Di-soric
DCC12-M04-PSK-IBSL 接近開(kāi)關(guān) Di-soric
IR 25 PSOK-IBS 感應(yīng)傳感器 Di-soric
777949 控制器 PILZ
774318 控制器 PILZ
DCM3-217B-S 壓力開(kāi)關(guān) FEMA
Nr：040012215 ALSR25 軸向軸承系統(tǒng) PFAFF
OMNIPORT20 探頭 E+E
HA040201 溫度傳感器 E+E
HA040204 壓力傳感器 E+E
HA010103 過(guò)濾器 E+E
HA010813 電纜 E+E
Certificate of origin（E+E） 原產(chǎn)地證明 E+E
6825N 燈管 HOENLE
3VF3111-3BN41-0AA0 模塊 SIEMENS
BAC 40/134-1,85/2-S 泵 Wilo（Salmson）
29 BM-199/499 凸輪開(kāi)關(guān) STROMAG
Photo sensor FSP 60A1-2202-E 轉(zhuǎn)換器 Sensorik
A2060 (25Glieder, jeweils 2 Ketten gepaart) 鏈條 Renold
A2060(27Glieder, jeweils 2 Ketten gepaart) 鏈條 Renold
A2060X10FT 鏈條 Renold GmbH
1394142,6.034.02-6707-11 測(cè)試鞋 foerster
0154474,6.762.02-6621-2510 碳刷 foerster
04F12y38T05 ID.8000602 探頭 GE
04A07x43L03 ID.8000601 探頭 GE
05D19y04L05 ID.8000362 探頭 GE
95.600.029.2.6 工件夾具 OTT-JAKOB
MFM D-6270/LDP SN1709-12C13295-D 氣體流量計(jì) M+W Instruments GmbH
PDMP 22-41/G 24 壓力調(diào)節(jié)閥 Hawe
VME421H-D-1 絕緣檢測(cè)儀 Bender
6DD2920-0AR5 SIEMENS
1-MP01 放大器 HBM
BN5983.53 DC24V 安全繼電器 DOLD
GV470 隔離放大器 motrona
GV210 隔離放大器 motrona
MP 80C 1.5KW B=470mm 潛水泵 SACEMI
YT71IMAAA2505;IMM71A 0.37KW B=250mm 潛水泵 SACEMI
FLDP-IM8-0001 Nr:6825320 總線模塊 Turck
LDECB0F1112NNNHW 控制器 LENZE
02170-05 工件夾具 norelem
02007-924X100 工件夾具 norelem
07040-36125 工件夾具 norelem
07040-36315 工件夾具 norelem
07030-30315 工件夾具 norelem
0250RN006 BN4HC s-nr:319536 濾芯 hydac
3RN1-011-1CB00 模塊 SIEMENS
Artikel Nr. 3620019 過(guò)濾器 Grafix GmbH
ETB Z015B8 GS 24V 34NM 抱閘 danfoss bauer
GS-22-200-AA-830N-K11913 氣彈簧 ACE
Artikel:152-00713 typ: 35_HGE_590_FV70_A1R 感應(yīng)傳感器 STROMAG
TS ,0111028 液位變送器 KSR Kuebler
Order-no. B26660 測(cè)試儀 FORM+TEST Seidner
Order-no. B26670 附件 FORM+TEST Seidner
6243.25..002 Druckminderer Type 6243.2 DN25 減壓閥 SYR
XALK178G 壓力傳感器 SCHNEIDER
XAPM2204 壓力傳感器 SCHNEIDER
XAPM3206 壓力傳感器 SCHNEIDER
11046061 HSSE D 33B N 1-10.5mm 0.5 麻花鉆 HAHN+KOLB Werkzeuge GmbH
model-code BGN-S309BJ0F0-0-S50-X 流量計(jì) Heinrichs
FSK-254-2.4/W/-/12/Z4 液位計(jì) hydac
LS 90 L G326591MM 電機(jī) LEROY-SOMER
LTYPE: 9101200110 緩沖墊 H+L
B8151-0 Nr:6904601 接頭 Turck
BS8151-0 Nr:6904611 接頭 Turck
BI15U-CP40-FDZ30X2 No.4280600 接近開(kāi)關(guān) Turck
SI5000 壓力傳感器 IFM
43628999 工業(yè)減震器 Hanchen
IBV 102 ID:536422-20 光柵尺 heidenhain
S2-GL25 流量計(jì) Eletta Flow
MPRN03 ID-Nr: 288275 齒輪箱 Vogel
200.051.000 4.054 + AP 0 Kombirolle ? 62,5 mm 軸承 Winkel
UR1-015GM 流量開(kāi)關(guān) Honsberg
KUS 3.50 230V AC 2200800157 整流電源 kuhse
43048990 襯墊圈 SAT Anlagentechnik GmbH
43048969 襯墊圈 Sterling
35042269 密封維修包 Sterling
MI250B/NJ25-15m 高溫接近開(kāi)關(guān) Mel
MI250B/NJ25-25M 高溫接近開(kāi)關(guān) Mel
MI250B/NJ20-20m 高溫接近開(kāi)關(guān) MEL Mikroelektronik GmbH
6262592 LP60SL44WEGE PE(50A)+PE+9X10A/480V+24X10A/24V+9XPB 電氣滑環(huán) Stemmann-Technik GmbH
DG2H 油壓傳動(dòng)閥 Hawe
G22-0-G24 油壓傳動(dòng)閥 Hawe
GR2-3-G24 油壓傳動(dòng)閥 Hawe
G3-3-G24 油壓傳動(dòng)閥 Hawe
383600-22 編碼器 heidenhain
POLIM-C 2.5N 自動(dòng)控制器 ABB
BSK 2651-01 31645 工件夾具 ORTLIEB Praezisions-Spannzeuge GmbH
6063120 4WE 6 E S01-24DG/V 電磁閥 hydac
6063118 4WE 6 D S01-24DG/V 電磁閥 hydac
SK 1000E-401-340-A-E 自動(dòng)控制器 NORD
NT 64-MS-S6/370-2K-T70NC 液位開(kāi)關(guān) Buhler
MS96-12R/24VDC Nr:5231007 流量開(kāi)關(guān) Turck
FCS-G1/2A4-NA Nr:6870338 流量開(kāi)關(guān) Turck
ASEW001D10 位置指示器 Magnet-Schultz
EM 411 PH/180° 1O/1S 43119003 限位開(kāi)關(guān) steute
MPS3-230/24 24V NO.85051 電源模塊 Murr
MVW-630-SHP 分流閥 M+S HYDRAULIC
Nr 振動(dòng)密度儀 J.Engelsmann
Nr125990008 量筒 J.Engelsmann
ED 350/B/N-2 SN.9705650001 氣壓缸 El-O-Matic
6DD1661-0AE1 通訊模塊 SIEMENS
6DD1661-0AD1 通訊模塊 SIEMENS
6DD1640-0AH0 模塊 SIEMENS
6DD1610-0AH6 存儲(chǔ) SIEMENS
6DD1600-0BA2 CPU板 SIEMENS
6DD1684-0GD0 電纜 SIEMENS
6DD1681-0GK0 模塊 SIEMENS
6DD1681-0DH1 模塊 SIEMENS
6DD1681-0AJ1 模塊 SIEMENS
6DD1684-0GC0 電纜 SIEMENS
6DD1681-0EB3 模塊 SIEMENS
6DD1682-0DA1 附件 SIEMENS
6DD1842-0AA1 模塊 SIEMENS
6DD1607-0AA2 模塊 SIEMENS
6DD1607-0CA1 模塊 SIEMENS
6DD1606-0AD1 模塊 SIEMENS
6DD1682-0CH2 機(jī)架 SIEMENS
LB3F-50 G1/2 防爆閥 Hawe
LB3F-63 G1/2 防爆閥 Hawe
GKR04-2M VAK 071C42 電機(jī) LENZE
FS4 濾芯 ZANDER
FS5 濾芯 ZANDER
DM 100Z80-160 流量計(jì) Elster
6SY7000-0AB28 風(fēng)機(jī) SIEMENS
6SY7000-0AB30 風(fēng)機(jī) SIEMENS
NI4U-EG08-AN6X Nr:4600610 接近開(kāi)關(guān) Turck
AF80/2C-11 3~MOT A807175313H 0489/Y06 361782 1.8kw Ha0102100 電機(jī) tool-temp
C-572/571 with Motor Wb0202030 泵（含電機(jī)等配件） tool-temp
63A for TOOLTEMP TT380/2 Gk0700800 開(kāi)關(guān) tool-temp
IGMF 008 GOP with 10m cable 3x0.34 m㎡ （P30709/10M） 流量計(jì) EGE
11BIS 1/2 減壓閥 DESBORDES
MSV D5 SOS 00 DV24V1W 電磁閥 METAL WORK
DF27A1B1C1G2ET1LS2000 阻旋式料位計(jì) mollet
PNOZ X2.8PC 24-240VDC 787302 安全繼電器 PILZ
FTA3901L05 溫度傳感器 Ahlborn Mess- und Regelungstechnik GmbH
FLDP-IM16-0001 No.6825326 總線模塊 Turck
P27000H1-S001 隔離放大器 Knick
VOE-B/8/2/7/7/7/7/7/7/7/7/P 油分配器 WOERNER Smeersystemen BV
VOE-B/6/2/7/7/7/7/7/7/P 油分配器 WOERNER Smeersystemen BV
BC10-QF5,5-AP6X2 Nr:2620117 液位傳感器 Turck
TP3-4121A024M，Nr：084135 安全開(kāi)關(guān) Euchner
NSP-SW04TPK 流量計(jì) KOBOLD
PSR-11153R15R1 流量計(jì) KOBOLD
PSR-11206R20R1 流量計(jì) KOBOLD
TMA-06416205 流量計(jì) KOBOLD
DUK-11G4HE34RB 流量計(jì) KOBOLD
FW1-020GP011 流量開(kāi)關(guān) Honsberg
DV3.001.776B 壓力變送器 Montwill GmbH
2832700 交換機(jī) Phoenix
1517916 總線電纜 Phoenix
2989103 以太網(wǎng)交換機(jī) Phoenix
2297057 斷路器 Phoenix
OMNI-F-015GK029S-10 流量計(jì) Honsberg
OMNI-F-015GK077S-13 流量計(jì) Honsberg
NS.COD. 999.192.08150 SERVOAMPL. DMS-08 BF 工件夾具 Baruffaldi
S22_HKP11R;SCHMIDT Kniehebelpresse Nr. 11R 手動(dòng)壓力機(jī) Schmidt
26.4025/20L 外圓刀座 EWS Weigele
26.4025/20R 外圓刀座 EWS Weigele
FDA5021-D.230V,5S，（Germany） 控制單元 HANS HENNIG
BG06-31/P05LA32-G/EMV-SP,Artikel-Nr.: 171Z181500 電機(jī) Bauer Gear Motor GmbH
Stromrichter SR-A-R-230, Art.-Nr.7115971 電機(jī)附件 Bauer Gear Motor GmbH
3rt1017-2kb42 自動(dòng)控制器 SIEMENS
DS2-1 閥 Hawe
RK 41,DN 80 止回閥 Gestra
RK 41,DN 125 止回閥 Gestra
RK 41,DN 150 止回閥 Gestra
AW1 211 621 07 信號(hào)鈴 Funke
RLM60/S135-P-0:1M 傳感器 STM
1700 R 005 BN4HC Nr:1265872 濾芯 hydac
SE534 電極 Knick
MR-015GM010 流量傳感器 Honsberg
PMC10 壓力開(kāi)關(guān) elettrotec
DM652F 50 * 40ST 22T-2,5GV 減壓閥 Mankenberg GmbH
WH3H-G24/8W 平衡閥 Hawe
F12-060-MF-IV-D-000-000-0 液壓馬達(dá) parker
DR 6 DP1-5X-25Y 電磁閥 Rexroth
PGP502A0016CH1D1NE3E2B1B1(3309111389) 齒輪泵 parker
PGP502B0058CP2D1NE3E2S-502A005(3309121095) 齒輪泵 parker
PGP505A0080CJ1H1NE5E3B1B1（3319111401） 齒輪泵 parker
MI250/NJ25-15M 高溫接近開(kāi)關(guān) MEL Mikroelektronik GmbH
z809/13/16X1.5 接頭 Hasco
MA24902 數(shù)據(jù)采集器 Ahlborn Mess- und Regelungstechnik GmbH
901221/40-1043-3-200-000/000 溫度控制器 JUMO
S7-M 底座 Releco
C3-A30X/AC230V 控制器 Releco
S9-M 底座 Releco
RHC-2 液壓閥 Hawe
VP1R-1/4-WG230 液壓閥 Hawe
LB4-F/100 流量計(jì) Hawe
6824260 WAS5-THERMD 總線模塊 Turck
6824089 SDNB-04A-007 總線模塊 Turck
MS96-12R/24VDC Nr:5231007 隔離器 Turck
8526-6100 壓力傳感器 Burster Praezisionsmesstechnik GmbH & Co KG
VG1/8 閥門(mén) Sommer-automatic GmbH & Co. KG
A5240/1004/.012 AU700004 電磁閥 GSR-Ventiltechnik GmbH & Co KG
Art.-Nr.50802 Typ.NTS 80/20 d1=80mm h1=32mm 支撐頭 Isoloc
Art.-Nr.70562 Typ.NTS 50 bis NTS100 M20*1.5*150mm 連桿 Isoloc
SPY-LIZER extern mic activ frequency equalizer 均衡器 SPYLIZER
RC2 閥門(mén) Hawe
WGR2-2-WG230 閥門(mén) Hawe
RH1 閥門(mén) Hawe
SDPB-40A-1007 Nr:6824439 模擬量輸入模塊 Turck
SDPB-0008D-1004 Nr:6824420 輸出模塊 Turck
RSSW-RKSW458-5M DP電纜 Turck
IPSWKP4-5-SWSP4/S90 Nr:6900319 電源電纜 Turck
8.5868.2132.3112 編碼器 KUEBLER
121213670 變送器 technotrans AG
AZ/AZM 200-B30-RTAG1P1 感應(yīng)傳感器 SCHMERSAL
SPS12103 電源 profitec
WDPFA06-ADB-V-16-G24/D1 閥 wandfluh
FGN36AA630NNF+FGRJ3NN0630 接近開(kāi)關(guān) AEG
4.3519.00.141 風(fēng)速儀 ADOLF THIES GmbH & Co. KG
AES 1235 感應(yīng)傳感器 SCHMERSAL
RUN70-M18K-AP8X-H1141 Nr:1830035 接近開(kāi)關(guān) Turck
WWAK4-2/P00 Nr:8007148 線纜 Turck
6905 117 F2 濾芯 Hawe
KM-020GK016 流量調(diào)節(jié)器 Honsberg
KM-020GK030 流量調(diào)節(jié)器 Honsberg
KM-020GK020 流量調(diào)節(jié)器 Honsberg
Siebplatte No.20539230 篩板（功能板） Lorentzen & Wettre
Zahnriemen No.91201004 皮帶 Lorentzen & Wettre
420311 NR:15300116 壓力傳感器 Bedia
420312 NR:15300119 壓力傳感器 Bedia
1511Z07-038.014 精密角度位移傳感器 FSG
RS-23S10C-6A12B-17M23 編碼器 Turck
11191030 鉆頭 HAHN+KOLB
DKZOR-AE-173-S5.10 比例換向閥 ATOS
DPZO-AE-373-S5.32 比例換向閥 ATOS
DPZO-AE-373-S5/E.31 比例換向閥 ATOS
DPZO-AE-273-S5/E31 比例換向閥 ATOS
A401N-PH/0 PH計(jì) Knick analytics
A401N-cond/0 電導(dǎo)率儀 Knick analytics
A401N-condI/0 電導(dǎo)率儀 Knick analytics
FCS-G1/2A4-AP8X-H1141 Nr:6870004 流量開(kāi)關(guān) Turck
BA328C 流量指示器 Mitex GmbH
EFK2-008HK029OS(1-150cm/s) 流量開(kāi)關(guān) Honsberg
MT12W Id.:231011-03 光柵尺 heidenhain
KST 2-40 (168137) 碳刷(相) Vahle GmbH & Co. KG
KST 2-40 (168138) 碳刷(地) Vahle GmbH & Co. KG
KMK 30-55 PH;ST0154440 碳刷 Vahle GmbH & Co. KG
KMK 30-55 PE;ST0154453 碳刷 Vahle GmbH & Co. KG
Z5-2 扣機(jī) STRACK
Z5-2-(1.2.4.6.8.9.12.17.18.19.20) 扣機(jī) STRACK
Z5140-0 行位扣 STRACK
6157BA 壓力傳感器 kistler
MEM56ST 制動(dòng)器 Corbetta
CSTN 1000 Art.No.717679 變壓器 Ismet
STB55-5000-000 溫控器 PMA
B94014002 RCM420-D-2 絕緣檢測(cè)儀 Bender
B911731 W1-S35 互感器 Bender
46328180 VMY160L06NN1PXG056 減壓閥 parker
IKL015.38 G 2319P-15 傳感器 Proxitron
GL80 9/1 LB DA 14X30 50-70 減速機(jī) SPEEDERMOTION
BI20-CP40-VP4X2 5692 傳感器 Turck
IM1-451EX-R No.7541188 安全柵 Turck
MK33-221EX0-HLI/24VDC No.7506431 安全柵 Turck
NI8U-M12-AP6X-H1141 644140 接近開(kāi)關(guān) Turck
BI15U-CP40-VN4X2/S10 540511 傳感器 Turck
BI15-CP40-Y1X 0110 接近開(kāi)關(guān) Turck
NI60-K90SR-VP4X2 5640 傳感器 Turck
DNI12U-M18E-AP4X3 582235 傳感器 Turck
NI12U-M18-AP6X 645100 接近開(kāi)關(guān) Turck
NI50-K90SR-Y1 0074 接近開(kāi)關(guān) Turck
VB60.5-CS19 No.6999161 總線模塊 Turck
BI1,5-EG08K-Y1 003600 接近開(kāi)關(guān) Turck
NI8-EM18-VP4X-H1141 S-NR: 1561901 接近開(kāi)關(guān) Turck
LP60S 14 WEGE Artikel.6261637(345) 滑環(huán) Stemmann
LP60SL 40 WEGE Artikel.6262274(345) 滑環(huán) Stemmann
NM701NR3 編碼器 Konecranes GmbH
XPSAV11113 安全模塊 emecanique
XPSAC5121 安全模塊 emecanique
XPSECME5131C 安全模塊 emecanique
RVM-008GM300 流量開(kāi)關(guān) Honsberg
8.5850.1241.G102 編碼器 KUEBLER
K542 Artikel:254200998 馬達(dá) Gefeg-neckar
MTO-2-55-EA7 馬達(dá) Jahns
SL3003/X1/GS80/K/01 編碼器 FSG
33G7-77-S-35 流量計(jì) HYDROTECHNIK
3107-00-S-26.00 HYDROTECHNIK 流量傳感器 HYDROTECHNIK
ADZ-SML-10.0 (0…100)bar 0.25% G1/4" 壓力傳感器 ADZ NAGANO GmbH
EVL 12 3603 L7 W 110 電子鎮(zhèn)流器 eckerle
774549 PNOZ X13 24VDC 5n/o 1n/c 控制器 PILZ
774606 PNOZ X9 200-230VAC 24VDC 7n/o 2n/c 2so 控制器 PILZ
MAYR Art.-Nr.:7017231 電磁離合器 Mayr
9407-998-00031 有接頭電纜 PMA Prozess- und Maschinen-Automation GmbH
HD 650 D 封口機(jī) Hawo
SealCheck med Art. Nr. 6.061.017 封口機(jī)附件 Hawo
6ES7960-1AA00-0XA0 模塊 SIEMENS
UPA2,0-400bar,No.0431-314 壓力傳感器 BARKSDALE
ADW4M11 模塊 Schneider Electric Energy GmbH
XD2CG1111 模塊 Schneider Electric Energy GmbH
XCSM3715L2 模塊 Schneider Electric Energy GmbH
60110 模塊 Schneider Electric Energy GmbH
60106 模塊 Schneider Electric Energy GmbH
PGH474 B95018012 絕緣故障測(cè)試儀 Bender
901.21111L4 壓力測(cè)試單元 Beck GmbH
IKL015.38GS4 接近開(kāi)關(guān) Proxitron
RZMO-TERS-PS-030-100 閥門(mén) ATOS
DP-3113 閥門(mén) ATOS
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。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件上，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動(dòng)部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）。
光柵檢測(cè)裝置
光柵尺工作原理
編輯
光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ，并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí)，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。
莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距，莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)，變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
光柵尺檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理
電子細(xì)分與判向法
光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。
在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如，柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量，即要檢測(cè)其大小，又要檢測(cè)其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過(guò)對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以得到光柵尺的移動(dòng)方向。通過(guò)對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度 [1] 。
光柵尺安裝指導(dǎo)
編輯
光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位。
一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)（滑板）上，隨機(jī)床走刀而動(dòng)，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí)，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上，此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上（如滑板）。
1、光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝光柵尺傳感器時(shí)，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度。千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個(gè)要求，則需設(shè)計(jì)加工一件光柵尺基座。
基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座（好基座長(zhǎng)出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過(guò)銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時(shí)，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)（主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)）。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí)，把M2螺釘*上緊。
在安裝光柵主尺時(shí)，應(yīng)注意如下三點(diǎn)：
(1) 在裝主尺時(shí)，如安裝超過(guò)1.5M以上的光柵時(shí)，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個(gè)主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個(gè)卡子卡住尺身中點(diǎn)（或幾點(diǎn)）。(3)不能安裝卡子時(shí)，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。
3、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時(shí)，首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求，然后再安裝讀數(shù)頭，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi)，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4、光柵尺線位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置，以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動(dòng)時(shí)讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購(gòu)光柵線位移傳感器時(shí)，應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。
5、光柵尺線位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數(shù)顯表，移動(dòng)工作臺(tái)，觀察數(shù)顯表計(jì)數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取一個(gè)參考位置，來(lái)回移動(dòng)工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數(shù)顯表同時(shí)調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*。
通過(guò)以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對(duì)于一般的機(jī)床加工環(huán)境來(lái)講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計(jì)是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護(hù)罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2] 。。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件上，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動(dòng)部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）。
光柵檢測(cè)裝置
光柵尺工作原理
編輯
光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ，并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí)，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。
莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距，莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)，變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
光柵尺檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理
電子細(xì)分與判向法
光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。
在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如，柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量，即要檢測(cè)其大小，又要檢測(cè)其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過(guò)對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以得到光柵尺的移動(dòng)方向。通過(guò)對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度 [1] 。
光柵尺安裝指導(dǎo)
編輯
光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位。
一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)（滑板）上，隨機(jī)床走刀而動(dòng)，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí)，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上，此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上（如滑板）。
1、光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝光柵尺傳感器時(shí)，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度。千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個(gè)要求，則需設(shè)計(jì)加工一件光柵尺基座。
基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座（好基座長(zhǎng)出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過(guò)銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時(shí)，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)（主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)）。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí)，把M2螺釘*上緊。
在安裝光柵主尺時(shí)，應(yīng)注意如下三點(diǎn)：
(1) 在裝主尺時(shí)，如安裝超過(guò)1.5M以上的光柵時(shí)，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個(gè)主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個(gè)卡子卡住尺身中點(diǎn)（或幾點(diǎn)）。(3)不能安裝卡子時(shí)，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。
3、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時(shí)，首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求，然后再安裝讀數(shù)頭，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi)，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4、光柵尺線位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置，以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動(dòng)時(shí)讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購(gòu)光柵線位移傳感器時(shí)，應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。
5、光柵尺線位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數(shù)顯表，移動(dòng)工作臺(tái)，觀察數(shù)顯表計(jì)數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取一個(gè)參考位置，來(lái)回移動(dòng)工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數(shù)顯表同時(shí)調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*。
通過(guò)以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對(duì)于一般的機(jī)床加工環(huán)境來(lái)講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計(jì)是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護(hù)罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2] 。。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件上，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動(dòng)部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）。
光柵檢測(cè)裝置
光柵尺工作原理
編輯
光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ，并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí)，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。
莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距，莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)，變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
光柵尺檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理
電子細(xì)分與判向法
光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。
在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如，柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量，即要檢測(cè)其大小，又要檢測(cè)其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過(guò)對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以得到光柵尺的移動(dòng)方向。通過(guò)對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度 [1] 。
光柵尺安裝指導(dǎo)
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光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位。
一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)（滑板）上，隨機(jī)床走刀而動(dòng)，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí)，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上，此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上（如滑板）。
1、光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝光柵尺傳感器時(shí)，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度。千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個(gè)要求，則需設(shè)計(jì)加工一件光柵尺基座。
基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座（好基座長(zhǎng)出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過(guò)銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時(shí)，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)（主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)）。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí)，把M2螺釘*上緊。
在安裝光柵主尺時(shí)，應(yīng)注意如下三點(diǎn)：
(1) 在裝主尺時(shí)，如安裝超過(guò)1.5M以上的光柵時(shí)，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個(gè)主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個(gè)卡子卡住尺身中點(diǎn)（或幾點(diǎn)）。(3)不能安裝卡子時(shí)，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。
3、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時(shí)，首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求，然后再安裝讀數(shù)頭，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi)，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4、光柵尺線位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置，以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動(dòng)時(shí)讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購(gòu)光柵線位移傳感器時(shí)，應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。
5、光柵尺線位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數(shù)顯表，移動(dòng)工作臺(tái)，觀察數(shù)顯表計(jì)數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取一個(gè)參考位置，來(lái)回移動(dòng)工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數(shù)顯表同時(shí)調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*。
通過(guò)以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對(duì)于一般的機(jī)床加工環(huán)境來(lái)講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計(jì)是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護(hù)罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2] 。。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件上，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動(dòng)部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）。
光柵檢測(cè)裝置
光柵尺工作原理
編輯
光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ，并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí)，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。
莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距，莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)，變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
光柵尺檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理
電子細(xì)分與判向法
光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。
在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如，柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量，即要檢測(cè)其大小，又要檢測(cè)其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過(guò)對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以得到光柵尺的移動(dòng)方向。通過(guò)對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度 [1] 。
光柵尺安裝指導(dǎo)
編輯
光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位。
一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)（滑板）上，隨機(jī)床走刀而動(dòng)，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí)，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上，此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上（如滑板）。
1、光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝光柵尺傳感器時(shí)，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度。千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個(gè)要求，則需設(shè)計(jì)加工一件光柵尺基座。
基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座（好基座長(zhǎng)出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過(guò)銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時(shí)，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)（主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)）。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí)，把M2螺釘*上緊。
在安裝光柵主尺時(shí)，應(yīng)注意如下三點(diǎn)：
(1) 在裝主尺時(shí)，如安裝超過(guò)1.5M以上的光柵時(shí)，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個(gè)主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個(gè)卡子卡住尺身中點(diǎn)（或幾點(diǎn)）。(3)不能安裝卡子時(shí)，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。
3、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時(shí)，首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求，然后再安裝讀數(shù)頭，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi)，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4、光柵尺線位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置，以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動(dòng)時(shí)讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購(gòu)光柵線位移傳感器時(shí)，應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。
5、光柵尺線位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數(shù)顯表，移動(dòng)工作臺(tái)，觀察數(shù)顯表計(jì)數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取一個(gè)參考位置，來(lái)回移動(dòng)工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數(shù)顯表同時(shí)調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*。
通過(guò)以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對(duì)于一般的機(jī)床加工環(huán)境來(lái)講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計(jì)是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護(hù)罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2] 。。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件上，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動(dòng)部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）。
光柵檢測(cè)裝置
光柵尺工作原理
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光柵尺莫爾條紋
以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ，并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí)，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。
莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距，莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)，變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
光柵尺檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理
電子細(xì)分與判向法
光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。
在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如，柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量，即要檢測(cè)其大小，又要檢測(cè)其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過(guò)對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以得到光柵尺的移動(dòng)方向。通過(guò)對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度 [1] 。
光柵尺安裝指導(dǎo)
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光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位。
一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)（滑板）上，隨機(jī)床走刀而動(dòng)，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí)，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上，此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上（如滑板）。
1、光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝光柵尺傳感器時(shí)，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度。千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個(gè)要求，則需設(shè)計(jì)加工一件光柵尺基座。
基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座（好基座長(zhǎng)出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過(guò)銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時(shí)，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)（主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)）。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí)，把M2螺釘*上緊。
在安裝光柵主尺時(shí)，應(yīng)注意如下三點(diǎn)：
(1) 在裝主尺時(shí)，如安裝超過(guò)1.5M以上的光柵時(shí)，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個(gè)主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，好用一個(gè)卡子卡住尺身中點(diǎn)（或幾點(diǎn)）。(3)不能安裝卡子時(shí)，好用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。
3、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時(shí)，首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求，然后再安裝讀數(shù)頭，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi)，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4、光柵尺線位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置，以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動(dòng)時(shí)讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購(gòu)光柵線位移傳感器時(shí)，應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。
GIGAHERTZ-OPTIK 控制模塊代理
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5、光柵尺線位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數(shù)顯表，移動(dòng)工作臺(tái)，觀察數(shù)顯表計(jì)數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取一個(gè)參考位置，來(lái)回移動(dòng)工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數(shù)顯表同時(shí)調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*。
通過(guò)以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對(duì)于一般的機(jī)床加工環(huán)境來(lái)講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計(jì)是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護(hù)罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2] 。
