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目錄:上海西努光學(xué)科技有限公司>>工業(yè)顯微鏡>>測(cè)量顯微鏡>> MX61L / MX61大尺寸智能型半自動(dòng)顯微鏡

MX61L / MX61大尺寸智能型半自動(dòng)顯微鏡
  • MX61L / MX61大尺寸智能型半自動(dòng)顯微鏡
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時(shí)間:2025-05-07 09:33:15瀏覽次數(shù):1626評(píng)價(jià)

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MX61L / MX61大尺寸智能型半自動(dòng)顯微鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應(yīng)對(duì)多種多樣的觀察方法、長(zhǎng)工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇

MX61L / MX61大尺寸智能型半自動(dòng)顯微鏡詳細(xì)介紹:

考慮了檢查效率的設(shè)計(jì) 主要操作集中配置在前面板上

 
前面板
[1] 照明強(qiáng)度旋鈕
[2] 物鏡倍率切換
[3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)
在對(duì)比度的決定上起重要作用的孔徑光闌(AS)的開(kāi)閉調(diào)節(jié),與物鏡的切換和觀察模式連動(dòng),用一個(gè)按鈕就可以操作。此外,用一個(gè)手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開(kāi)對(duì)焦手柄,只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設(shè)計(jì)提高了手指尖的感知度,能夠防止錯(cuò)誤操作。

觀察姿勢(shì)迅速到位的傾斜鏡筒


傾斜鏡筒示意圖
為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度,或是以不合理的姿勢(shì)進(jìn)行檢查的話會(huì)浪費(fèi)時(shí)間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMI S8對(duì)應(yīng))的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無(wú)關(guān)的舒適觀察姿勢(shì),甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長(zhǎng)了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離,可以在較大的平臺(tái)上輕松操作。

高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置


內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄
對(duì)應(yīng)300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺(tái)有較大的透射照明范圍(Y方向284 mm)。另外,內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄,可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺(tái),快速完成檢查。

鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能

MX61L / MX61大尺寸智能型半自動(dòng)顯微鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應(yīng)對(duì)多種多樣的觀察方法、長(zhǎng)工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。

觀察影像實(shí)例


明視場(chǎng)觀察

暗視場(chǎng)觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

豐富的產(chǎn)品陣容,可按需選擇
MPLAPON 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 MPLFLN 平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 LMPLFLN 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 LMPLFLN-BD 明暗視場(chǎng)用長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 MPLN 平場(chǎng)消色差透鏡 MPLN-BD 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)消色差透鏡
SLMPLN 超長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差透鏡 LCPLFLN-LCD 液晶長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 軟件方案

實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像
MX61L配備了PC界面,可以讀取顯微鏡的電動(dòng)功能。因此,捕獲影像時(shí)可以自動(dòng)保存物鏡倍率,為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。
支持缺陷檢測(cè)的多種功能 快速切換物鏡,提高檢查速度


電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來(lái)提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時(shí)間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī),在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。

變換物鏡,孔徑光闌(AS)也隨之調(diào)節(jié)


AS自動(dòng)調(diào)節(jié)示意圖
每次變換物鏡時(shí)都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌(AS)的話,會(huì)影響檢查速度。MX61L對(duì)每個(gè)物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS(14級(jí)),只要切換物鏡就能以zui合適的對(duì)比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調(diào)節(jié)AS,提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。

幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件 安全快速的搬運(yùn)晶圓


自動(dòng)晶圓搬送機(jī)AL110(200 mm
規(guī)格)組合
MX61L能與自動(dòng)晶圓搬送機(jī)組合,組合后的尺寸也被設(shè)計(jì)得很小。能夠無(wú)接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外,晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器,那么不良晶圓的登錄、開(kāi)始和保存都可以在手中快速完成。

近紅外線觀察單元

由可見(jiàn)光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡,和紅外線用超廣角三目鏡筒等,對(duì)應(yīng)近紅外線的裝置備有各種型號(hào)。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。


近紅外線觀察單元

粘合襯墊

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。


熒光鏡單元

熒光觀察

透射照明單元

透射照明單元
透射照明單元
對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載,實(shí)現(xiàn)了透射簡(jiǎn)易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA(數(shù)值孔徑)的B型號(hào)兩種型號(hào)。
  規(guī)格MX61LMX61
光學(xué)系統(tǒng)UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正)
機(jī)身觀察方法明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光
反射/透射反射/透射
照明裝置機(jī)身一體型(明視場(chǎng),暗視場(chǎng)+1選件)
照明系統(tǒng)反射照明100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明纖維光導(dǎo)
對(duì)焦單元電動(dòng)/手動(dòng)手動(dòng)
行程32 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm
zui大樣本高度30 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器電動(dòng)型明視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔
手動(dòng)式-
載物臺(tái)行程14×12英寸右下手柄: 
356(X)×305(Y)mm 
(透射照明范圍356×284 mm)
8×8 英寸右下手柄: 
210(X)×210(Y)mm 
(透射照明范圍189×189 mm) 
6×6 英寸右下手柄: 
158(X)×158(Y)mm
觀察筒廣角視場(chǎng) 
(視場(chǎng)數(shù)22)
倒置雙目/三目觀察筒
正像三目觀察筒
超寬視場(chǎng) 
(視場(chǎng)數(shù)26.5)
倒置三目觀察筒
正像傾斜三目觀察筒
附件單元IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載
外形尺寸710(W)×843(D)×507(H)mm 
(標(biāo)準(zhǔn)組合)
509(W)×843(D)×507(H)mm 
(標(biāo)準(zhǔn)組合)
重量51 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合)40 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合)

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