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FS 系列氣動風囊泵
  • FS 系列氣動風囊泵
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-04-25 21:00:08

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FS 系列氣動風囊泵
外型小巧、低成本、高速沖程的氣動風囊泵

FS 系列
外型小巧、低成本、高速沖程的氣動風囊泵

高速沖程

提升泵的沖程速度 (最高達240 spm),讓制造過程中,大大減少泵的尺寸、重量、成本,及降低脈動。


無污染設(shè)計

過流端零件均采用氟樹脂材質(zhì),沒有金屬零件外露的設(shè)計,外殼采用氟樹脂材質(zhì)。使用的軸封 (已申請),能顯著降低顆粒的產(chǎn)生。


液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力

液體輸送溫度范圍高達5 - 180°C,吐出壓力高達45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程,同時適用于化學液體供藥。


易于維護

更換開關(guān)無需拆卸,不需定期收緊螺栓,減少了停機時間。


傳感器驅(qū)動系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。

 

規(guī)格

最大吐出量

55 L/min

最大吐出壓力

0.5 MPa

最大耗氣量

670 NL/min

最大沖程率

240 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA

液體輸送溫度范圍

5 ~ 180 °C


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