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CFD系列半導(dǎo)體氣動泵

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更新時(shí)間：2025-04-25 21:00:08

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水質(zhì)分析儀系列: 污水處理設(shè)備水質(zhì)分析試劑耗材臭氧/消毒設(shè)備污水、飲用水、工業(yè)用水在線水質(zhì)重金屬分析儀便攜/臺式水質(zhì)儀器水文、水處理儀表耗材

氣體檢測儀: 氣體稀釋儀/空壓機(jī) 氣體報(bào)警器/監(jiān)測系統(tǒng) 氣體、酸霧、紅外熱像儀氮?dú)饽?、發(fā)生器、過濾膜氧/氫氣/熱導(dǎo)氣體煙氣尾氣、CO2、微站惡臭嗅辨熏蒸VOC熱值

環(huán)保節(jié)能/環(huán)境/氣象: 生物降解呼吸儀塑料崩解呼吸儀露點(diǎn)/溫濕度/水分/活度礦漿濃度儀離子風(fēng)機(jī)/采樣器/正負(fù)離子粒子計(jì)/粉塵顆粒/氣溶膠空氣質(zhì)量風(fēng)速風(fēng)向風(fēng)量噪音、聲級、照度、氣象

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備: 純水機(jī) 凍干機(jī) 玻璃儀器采樣系列實(shí)驗(yàn)室瓜子去殼機(jī) PCR、酶標(biāo)儀、細(xì)胞分析水浴、恒溫、制冷、純水機(jī) 移液、分液、稀釋、電化學(xué) 樣品前處理、工作站天平、衡器、自動稱重在線傳感器恒溫加熱干燥培養(yǎng)箱危險(xiǎn)物質(zhì)凈化臺氮吹儀/洗板機(jī) 轉(zhuǎn)棒測試儀動物檢測儀器菌落計(jì)數(shù)器生物反應(yīng)器發(fā)酵罐反應(yīng)釜混合粉碎均質(zhì)乳化分散研磨

分析儀器: 結(jié)晶分析儀流動分析儀/流動注射分析儀水分測定儀膠粘及復(fù)合材料分析儀分散體系分析儀穩(wěn)定性分析儀分離性質(zhì)分析儀實(shí)驗(yàn)室SAXS系統(tǒng) 閃電和燃燒點(diǎn)測試儀燃燒試驗(yàn)箱氧指數(shù)測定儀煙密度測試儀逸出氣聯(lián)用分析系統(tǒng) 介電常數(shù)測定儀炭黑含量測試儀熱分析儀材料甲醛分析儀 X射線儀器電化學(xué)分析儀色譜、質(zhì)譜、光譜、波譜元素分析儀粒度儀粉體設(shè)備

光學(xué)儀器: 成像設(shè)備小動物活體成像白度計(jì)、光澤度、夜視儀顯微鏡系列應(yīng)力儀、錐入度儀、振動篩色度儀、濁度儀折光儀、旋光儀、光度儀密度滴點(diǎn)熔點(diǎn)熱值

輻射放射性檢測儀

物理特性儀器: 粉體流動測定儀雜質(zhì)度檢測儀電火花檢測儀試驗(yàn)機(jī) 測厚儀無損檢測儀磁學(xué)測量儀流變儀/粘度儀

生態(tài)環(huán)境、土壤、食品: 食品農(nóng)產(chǎn)品安全土壤科學(xué)測量植物生理生態(tài)儀器

測量/計(jì)量儀器: 耗材全自動二次元測量儀線寬線徑測量儀激光干涉儀視覺檢測儀水滴/液滴分析儀晶圓厚度測量儀芯片應(yīng)力測試儀薄膜應(yīng)力翹曲度儀輪廓測試儀聲速儀地面滑度摩擦測試儀千分尺光纖認(rèn)證測試儀激光測距儀 UV能量測試儀電梯限速器測試儀密度儀張力儀轉(zhuǎn)速、振動、頻閃儀表界面物性測試

電子、電力儀表: I-V曲線/光伏電池專用數(shù)字多用表多功能電氣安全檢測儀

厚度與表面測量儀器: 比表面及孔徑分析儀吸附儀接觸角/表面張力儀泡沫分析儀焊接壓力測試儀腳踏力手剎力測試儀硬度計(jì)/扭力計(jì)/推拉力照度/透光率/白度/色差遮蓋率（反射率儀）

過程儀器儀表: 蝶閥/球閥工業(yè)泵系列流量、壓力、液位、溫度

管道及防腐層檢測: 多功能相關(guān)儀 LED紫外線燈 LED黑光燈工業(yè)內(nèi)窺鏡鐵素體檢測儀管線管網(wǎng)探測儀

勞保安防、救援勘探

工程檢測

傳感器系列: 氣體傳感器溫濕度傳感器/變送器

半導(dǎo)體行業(yè)儀器: PID（電位誘發(fā)衰減）測試儀

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產(chǎn)品簡介詳細(xì)介紹

CFD系列半導(dǎo)體氣動泵
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

CFD系列
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

高分辨率

最小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過量添加或液體浪費(fèi)。此外，防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。

耐腐蝕過流端

氟材質(zhì)口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。針對化學(xué)腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。

寬廣的吐出率調(diào)節(jié)

打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。

配備泄漏傳感器

每臺泵都配有泄漏傳感器，可實(shí)時(shí)檢測任何泄漏情況。

規(guī)格

最大吐出量	1 mL/shot
最大吐出壓力	0.05 MPa
最大沖程率	30 spm
主要材質(zhì)	PTFE, PFA, PCTFE
液體輸送溫度范圍	20 ~ 60 °C



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