產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
數(shù)字式微小氣體質(zhì)量流量控制器
數(shù)字式微小氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路組成,采用數(shù)字信號(hào)輸入輸出,具有預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高等特點(diǎn).測(cè)量不受溫度壓力影響,且可測(cè)量的量程范圍廣,量程比寬等實(shí)質(zhì)性的優(yōu)點(diǎn)...小流量1sccm,高精度,數(shù)字顯示輸出.
1、氣體質(zhì)量控制器特點(diǎn):
1)小流量0.2SCCM
2)0.5%滿量程的精度和1.0%的讀數(shù)值的精度
3)1.5S的快速響應(yīng)時(shí)間
4)預(yù)熱時(shí)間短,節(jié)約成本
5)數(shù)字輸出RS485/232,4-20mA輸出
6)大壓力10Mpa
2、技術(shù)參數(shù)
技術(shù)指標(biāo) | CXB數(shù)字式大流量 | CXB數(shù)字型小流量 | CXC模擬型小流量 | |||
流量計(jì) | 控制器 | 流量計(jì) | 控制器 | 流量計(jì) | 控制器 | |
流量范圍 | 0...300 400 500 3000SLM | 0-5 10 20 30 500..SCCM | 0-5 10 20 30 500SCCM | |||
準(zhǔn)確性 | +/-0.5%F.S 溫度+/-1.0% | |||||
線性 | +/-0.5%~1.5%F.S | |||||
重復(fù)精度 | +/-0.2%F.S | |||||
響應(yīng)時(shí)間 | 電特性:10SEC,電特性(1-4sec) | |||||
工作壓差 | 0.1-0.5Mpa | <30Mpa | 0.1-0.5Mpa | <30Mpa | 0.1-0.5Mpa | <30Mpa |
耐壓 | 3Mpa/10Mpa | |||||
工作溫度 | 0-70℃ | |||||
數(shù)字量 | RS485 MODBUS RTU | |||||
模擬量 | DC 0-5V,4-20mA可選 | |||||
供電 | DC +15/24V 可選,流量計(jì)<400mA,控制器<600mA | |||||
電氣連接 | DB15 | |||||
漏率 | 1*10 SCCSHE | |||||
底座材質(zhì) | 316L | |||||
密封材質(zhì) | 氟橡膠/氯丁橡膠/316L | |||||
氣路接頭 | φ3,φ6,φ10,φ12,1/8,1/4,3/8,3/4,1英寸螺紋,DN25法蘭 |
3.1質(zhì)量流量計(jì)
主要介質(zhì)為干燥的氣體(包含混合氣體),出廠通常用氮?dú)鈽?biāo)定主要應(yīng)用為醫(yī)療設(shè)備,玻璃行業(yè),真空鍍膜,分析儀器,太陽(yáng)能,半導(dǎo)體,石油化工,環(huán)保,制氣配氣等行業(yè)。
3.2質(zhì)量流量控制器
控制范圍1:50
控制器控制精度1.0%
大耐壓3Mpa/10Mpa
數(shù)字輸出RS485/4-20mA等