Horiba Z514、Z512高精度數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

horiba Z514、Z512數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，又稱(chēng)氣體質(zhì)量流量計(jì)。

Horibastec Z514MGX屬于SEC-500X系列，高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，最小量程可以選擇1sccm，精度0.25%，多用于半導(dǎo)體設(shè)備的PEVCVD、LPCVD、MOCVD中。

國(guó)內(nèi)多回收、二次銷(xiāo)售，我公司提供進(jìn)口Z514、Z524，保修期1年。

暢銷(xiāo)型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國(guó)內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國(guó)內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212