ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ裝置?真空乾燥プロセス?大型ロードロック室等の高速排気性能に優(yōu)れ、負荷に応じた回転數(shù)自動制御機能?通信機能等の付加価値を搭載した獨立設(shè)置型ドライ真空ポンプです。

特長

型式：ESA15-D／ESA25-D／ESA70W（-D）／ESA70WN（-D）／
ESA80W-HDF／ESA80WN-HDF／ESA100W／ESA100WN
?

（1)泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重芯較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重芯低，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重芯較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構(gòu)也相對復(fù)雜。