Edwards愛德華渦旋真空泵 nXDS6i干式渦旋泵在其他渦旋泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行優(yōu)化，提高了抽速，獲得了更高極限真空、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對(duì)可冷凝蒸汽(包括水、溶劑、稀酸和堿)進(jìn)行抽真空。nXDS泵還采用了新的端面密封技術(shù)，顯著延長(zhǎng)了端面密封條更換的時(shí)間間隔。

Edwards愛德華渦旋真空泵 nXDS6i干式渦旋泵產(chǎn)品應(yīng)用：

一般清潔泵送應(yīng)用，電子掃描顯微鏡-SEM，射束線和高能物理，前級(jí)渦輪泵，覆層，低溫學(xué)，脫氣/硫化-油，環(huán)氧樹脂，蒸餾/萃取/過濾，冷凍干燥，熔爐，凝膠體干燥，實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空，激光、氣體回收和再循環(huán)，氦檢漏儀，負(fù)載鎖和傳輸腔，稀有氣體再循環(huán)，稀有氣體回收，冷凍制造，研發(fā)，旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器，SEM/FIB（離子束維修），溶劑回收，表面科學(xué)儀器。

特性與優(yōu)勢(shì)：

真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染；

無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)；

簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需特殊工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間；

改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本；

先進(jìn)的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過USB、RS232或RS485實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視。