質(zhì)量流量控制器，采用傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以?xún)?nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi)，CS200C產(chǎn)品快可在800ms以?xún)?nèi)達(dá)到設(shè)定流量，響應(yīng)時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差小化

所需流量更加。



質(zhì)量流量控制器采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。

? CS200產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造，尺寸符合通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

? CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。

? 產(chǎn)品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

? 具有多氣體多量程功能、自動(dòng)歸零功能、報(bào)警功能、軟啟動(dòng)功能、延遲功能及功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。

CS200A，甲烷，2SLM，8mm卡套，RS485通訊，大工作壓力0.45MPa,壓差0.05-0.35MPa

技術(shù)參數(shù)
類(lèi)型： CS200-A
閥類(lèi)型：常開(kāi)(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)或常閉
流量規(guī)格(N2)：(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
準(zhǔn)確度：±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性：±0.5% F.S.
重復(fù)精度：±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間：≤ 1sec
工作壓差范圍：
0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM
0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM，＜0.02 MPa
大工作壓力：0.45MPa
溫度系數(shù)：零點(diǎn)： ≤±0.05% F.S./℃；
調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM
調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格＞30SLM
耐壓強(qiáng)度：3MPa
漏率：1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料：氟橡膠
工作環(huán)境溫度：（5～45）℃
輸入信號(hào)：數(shù)字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
輸出信號(hào)：數(shù)字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂：在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年
電源：±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分：常態(tài)
表面粗糙度：25 Ra
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式：
雙卡套 φ6；雙卡套 1/4′′；雙卡套 3/8′′；VCR1/4′′陽(yáng)接頭；雙卡套φ3；
雙卡套 1/8′′；VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭；
φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;
電源接頭形式：D 型 9 針陽(yáng)接頭；D 型 15 針陽(yáng)接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭

重量：1 Kg